光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
5期
1160-1166
,共7页
邹文栋%刘佳%王星星%江茂清%龚勇清
鄒文棟%劉佳%王星星%江茂清%龔勇清
추문동%류가%왕성성%강무청%공용청
菲涅耳微透镜%菲涅耳波带板%芯模%扫描白光干涉术%三维形貌%加工误差
菲涅耳微透鏡%菲涅耳波帶闆%芯模%掃描白光榦涉術%三維形貌%加工誤差
비열이미투경%비열이파대판%심모%소묘백광간섭술%삼유형모%가공오차
采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建.根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差.通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息.实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义.
採用掃描白光榦涉法對菲涅耳微透鏡芯模錶麵浮彫結構進行瞭檢測,併對元件錶麵微觀形貌進行瞭三維重建.根據其錶麵形貌數據,引入幅度參數錶徵法,分彆計算齣橫嚮線寬誤差以及樣品的繫統刻蝕深度誤差和隨機刻蝕深度誤差等縱嚮加工偏差.通過錶麵高度分佈的偏斜度、錶麵高度分佈的峭度等參數穫得瞭有關微芯模錶麵誤差和缺陷的量化信息.實驗研究錶明,掃描白光榦涉法能精確定量化錶徵微芯模錶麵形貌特徵,這對探索適用于新型微光學器件錶麵三維形貌誤差的無損檢測評價方法具有實際意義.
채용소묘백광간섭법대비열이미투경심모표면부조결구진행료검측,병대원건표면미관형모진행료삼유중건.근거기표면형모수거,인입폭도삼수표정법,분별계산출횡향선관오차이급양품적계통각식심도오차화수궤각식심도오차등종향가공편차.통과표면고도분포적편사도、표면고도분포적초도등삼수획득료유관미심모표면오차화결함적양화신식.실험연구표명,소묘백광간섭법능정학정양화표정미심모표면형모특정,저대탐색괄용우신형미광학기건표면삼유형모오차적무손검측평개방법구유실제의의.
