光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
5期
1122-1128
,共7页
朱咸昌%伍凡%曹学东%吴时彬
硃鹹昌%伍凡%曹學東%吳時彬
주함창%오범%조학동%오시빈
微透镜阵列%焦距测量%波前检测%哈特曼波前传感器%图像清晰度
微透鏡陣列%焦距測量%波前檢測%哈特曼波前傳感器%圖像清晰度
미투경진렬%초거측량%파전검측%합특만파전전감기%도상청석도
基于哈特曼波前传感器检测原理,结合图像清晰度定焦技术,提出了一种测量微透镜阵列焦距的方法,介绍了测量系统的组成和原理.首先利用平行光管的出射平面波前在被测微透镜阵列焦面上成像,利用标准透镜产生的球面波前在微透镜阵列焦面附近成像.然后,根据平面波前和球面波前经过微透镜阵列成像时微透镜阵列焦面上光斑的偏移量,计算相应的微透镜阵列子单元的焦距.最后,基于图像清晰度定焦技术,通过不确定度分析和实验测量验证了该方法检测微透镜阵列焦距的可行性.测量结果表明,该方法对微透镜阵列焦距检测精度可达到3%;同时,一次测量可完成微透镜阵列多个子单元的焦距标定.相对于传统的检测方法,该方法具有较高的检测精度和效率.
基于哈特曼波前傳感器檢測原理,結閤圖像清晰度定焦技術,提齣瞭一種測量微透鏡陣列焦距的方法,介紹瞭測量繫統的組成和原理.首先利用平行光管的齣射平麵波前在被測微透鏡陣列焦麵上成像,利用標準透鏡產生的毬麵波前在微透鏡陣列焦麵附近成像.然後,根據平麵波前和毬麵波前經過微透鏡陣列成像時微透鏡陣列焦麵上光斑的偏移量,計算相應的微透鏡陣列子單元的焦距.最後,基于圖像清晰度定焦技術,通過不確定度分析和實驗測量驗證瞭該方法檢測微透鏡陣列焦距的可行性.測量結果錶明,該方法對微透鏡陣列焦距檢測精度可達到3%;同時,一次測量可完成微透鏡陣列多箇子單元的焦距標定.相對于傳統的檢測方法,該方法具有較高的檢測精度和效率.
기우합특만파전전감기검측원리,결합도상청석도정초기술,제출료일충측량미투경진렬초거적방법,개소료측량계통적조성화원리.수선이용평행광관적출사평면파전재피측미투경진렬초면상성상,이용표준투경산생적구면파전재미투경진렬초면부근성상.연후,근거평면파전화구면파전경과미투경진렬성상시미투경진렬초면상광반적편이량,계산상응적미투경진열자단원적초거.최후,기우도상청석도정초기술,통과불학정도분석화실험측량험증료해방법검측미투경진렬초거적가행성.측량결과표명,해방법대미투경진렬초거검측정도가체도3%;동시,일차측량가완성미투경진렬다개자단원적초거표정.상대우전통적검측방법,해방법구유교고적검측정도화효솔.