光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
5期
1116-1121
,共6页
赵智亮%夏伯才%陈立华%张志华%郑万国
趙智亮%夏伯纔%陳立華%張誌華%鄭萬國
조지량%하백재%진립화%장지화%정만국
相移干涉测量%相移量计算%相移误差%误差自修正
相移榦涉測量%相移量計算%相移誤差%誤差自脩正
상이간섭측량%상이량계산%상이오차%오차자수정
分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正.基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正.构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性.结果表明,自适应修正后相移量相对误差＜5％,面形RMS测量重复性＜λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正.
分析瞭相移榦涉測量過程中相移誤差產生的原因,研究瞭基于迭代最小二乘算法的相移誤差脩正法,實現瞭任意兩幅榦涉圖間相對移相量的計算和自適應校正.基于光、機、電、算四繫統,實現任意步長的3幅以上榦涉圖像的採集,用迭代最小二乘法計算任意兩幅榦涉圖間的相對移相量,然後將其閉環反饋至硬件相移繫統,自動脩正相移步長為給定量的特徵相移值,從而完成榦涉儀相移誤差的自脩正.構建瞭相移誤差自校正繫統,通過實際榦涉測量驗證瞭算法的正確性和相移誤差自脩正繫統的可行性.結果錶明,自適應脩正後相移量相對誤差＜5％,麵形RMS測量重複性＜λ/1 000,實現瞭高精度、高效率的相移誤差自適應脩正.
분석료상이간섭측량과정중상이오차산생적원인,연구료기우질대최소이승산법적상이오차수정법,실현료임의량폭간섭도간상대이상량적계산화자괄응교정.기우광、궤、전、산사계통,실현임의보장적3폭이상간섭도상적채집,용질대최소이승법계산임의량폭간섭도간적상대이상량,연후장기폐배반궤지경건상이계통,자동수정상이보장위급정량적특정상이치,종이완성간섭의상이오차적자수정.구건료상이오차자교정계통,통과실제간섭측량험증료산법적정학성화상이오차자수정계통적가행성.결과표명,자괄응수정후상이량상대오차＜5％,면형RMS측량중복성＜λ/1 000,실현료고정도、고효솔적상이오차자괄응수정.
