低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2013年
5期
85-88
,共4页
纯化%氦气%膜分离法%变压吸附法(PSA)%变温吸附法(TSA)
純化%氦氣%膜分離法%變壓吸附法(PSA)%變溫吸附法(TSA)
순화%양기%막분리법%변압흡부법(PSA)%변온흡부법(TSA)
稀有气体广泛应用于工业生产中,如离子刻蚀、检漏等.但是它们在地球上的含量比较少,属于稀有资源,因此需要对它们进行纯化以循环再利用.首先介绍了不同气体纯化的原理,然后以实际生产中的不同稀有气体使用范围为例,说明纯化装置的设计方法和需要考虑的问题.为以后气体纯化装置的设计提供借鉴.
稀有氣體廣汎應用于工業生產中,如離子刻蝕、檢漏等.但是它們在地毬上的含量比較少,屬于稀有資源,因此需要對它們進行純化以循環再利用.首先介紹瞭不同氣體純化的原理,然後以實際生產中的不同稀有氣體使用範圍為例,說明純化裝置的設計方法和需要攷慮的問題.為以後氣體純化裝置的設計提供藉鑒.
희유기체엄범응용우공업생산중,여리자각식、검루등.단시타문재지구상적함량비교소,속우희유자원,인차수요대타문진행순화이순배재이용.수선개소료불동기체순화적원리,연후이실제생산중적불동희유기체사용범위위례,설명순화장치적설계방법화수요고필적문제.위이후기체순화장치적설계제공차감.
