电镀与精饰
電鍍與精飾
전도여정식
PLATING & FINISHING
2013年
5期
32-35
,共4页
刘野%黄美东%路少怀%吴功航%李洪玉
劉野%黃美東%路少懷%吳功航%李洪玉
류야%황미동%로소부%오공항%리홍옥
多弧离子镀%TiN薄膜%色泽%氮气分压%基体偏压
多弧離子鍍%TiN薄膜%色澤%氮氣分壓%基體偏壓
다호리자도%TiN박막%색택%담기분압%기체편압
采用电弧离子镀的方法,在硅片上制备TiN仿金装饰膜层,主要研究氮气分压和基体偏压两个工艺参数对TiN薄膜色泽的影响.结果表明,氮气压强对TiN薄膜的色泽有明显的影响和控制作用.随着氮气分压的增大,薄膜的色泽由浅黄色向红棕色变化.实验发现,基体偏压对膜层的色泽也有一定的影响,当氮气分压一定时,施加偏压所得TiN薄膜比不施加的颜色更浅.可见,通过调节基体偏压和氮气流量,可以获得所需颜色的TiN薄膜.
採用電弧離子鍍的方法,在硅片上製備TiN倣金裝飾膜層,主要研究氮氣分壓和基體偏壓兩箇工藝參數對TiN薄膜色澤的影響.結果錶明,氮氣壓彊對TiN薄膜的色澤有明顯的影響和控製作用.隨著氮氣分壓的增大,薄膜的色澤由淺黃色嚮紅棕色變化.實驗髮現,基體偏壓對膜層的色澤也有一定的影響,噹氮氣分壓一定時,施加偏壓所得TiN薄膜比不施加的顏色更淺.可見,通過調節基體偏壓和氮氣流量,可以穫得所需顏色的TiN薄膜.
채용전호리자도적방법,재규편상제비TiN방금장식막층,주요연구담기분압화기체편압량개공예삼수대TiN박막색택적영향.결과표명,담기압강대TiN박막적색택유명현적영향화공제작용.수착담기분압적증대,박막적색택유천황색향홍종색변화.실험발현,기체편압대막층적색택야유일정적영향,당담기분압일정시,시가편압소득TiN박막비불시가적안색경천.가견,통과조절기체편압화담기류량,가이획득소수안색적TiN박막.
