强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
6期
1479-1482
,共4页
董凯%赖伟恩%孙丹丹%文岐业%张怀武
董凱%賴偉恩%孫丹丹%文岐業%張懷武
동개%뢰위은%손단단%문기업%장부무
太赫兹%金属孔阵列%超薄聚酰亚胺薄膜%低折射率
太赫玆%金屬孔陣列%超薄聚酰亞胺薄膜%低摺射率
태혁자%금속공진렬%초박취선아알박막%저절사솔
优化设计了多种不同孔径和形状的太赫兹波段的亚波长金属孔阵列结构,结合超薄低折射率的聚酰亚胺(PI)薄膜,探索了太赫兹时域光谱技术对超薄低折射率的探测灵敏性.利用飞秒微加工技术制备了一系列亚波长金属孔阵列结构,利用太赫兹时域光谱技术测试了阵列结构的反射波谱,获得了强烈的反射共振现象.然后在亚波长金属孔阵列结构背面叠加PI薄膜,结果表明太赫兹反射峰出现了显著低频移动现象.利用这一现象,实现了低至10 μm的PI薄膜的有效探测,说明亚波长金属孔阵列结构在太赫兹传感领域对检测超薄低折射率薄膜材料有极强敏感性.
優化設計瞭多種不同孔徑和形狀的太赫玆波段的亞波長金屬孔陣列結構,結閤超薄低摺射率的聚酰亞胺(PI)薄膜,探索瞭太赫玆時域光譜技術對超薄低摺射率的探測靈敏性.利用飛秒微加工技術製備瞭一繫列亞波長金屬孔陣列結構,利用太赫玆時域光譜技術測試瞭陣列結構的反射波譜,穫得瞭彊烈的反射共振現象.然後在亞波長金屬孔陣列結構揹麵疊加PI薄膜,結果錶明太赫玆反射峰齣現瞭顯著低頻移動現象.利用這一現象,實現瞭低至10 μm的PI薄膜的有效探測,說明亞波長金屬孔陣列結構在太赫玆傳感領域對檢測超薄低摺射率薄膜材料有極彊敏感性.
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