场发射冷阴极微栅孔阵列制备技术
장발사랭음겁미책공진렬제비기술
Fabrication of micro-hole array for field emission cold cathode gates
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2013年 6期 1475-1478 ,共4页

    赵兴海%施志贵%向伟%金大志%钱沐杨%苏伟%李男男%朱锦锋

    조흥해%시지귀%향위%금대지%전목양%소위%리남남%주금봉

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    实现了一种采用聚苯乙烯纳米球自组装技术和微机械制造技术加工的场发射阴极用亚微米栅极微孔阵列.设计了一套完整的工艺实验方案,首先采用微球自组装技术获得了亚微米级金属网孔掩膜,然后通过反应离子刻蚀技术获得了亚微米栅极孔阵列,从而实现了集成度高、分布均匀的周期性亚微米孔洞阵列的制备,微孔集成度达到108 cm-2.实验研究了氧气刻蚀聚苯乙烯微球的规律.采用金属掩膜,四氟化碳干法刻蚀二氧化硅,获得了深度为500 nm的微孔.实验结果证明该工艺方案是一种获得大面积、均匀分布、集成度高的场发射冷阴极栅孔阵列的有效方法.
    실현료일충채용취분을희납미구자조장기술화미궤계제조기술가공적장발사음겁용아미미책겁미공진렬.설계료일투완정적공예실험방안,수선채용미구자조장기술획득료아미미급금속망공엄막,연후통과반응리자각식기술획득료아미미책겁공진렬,종이실현료집성도고、분포균균적주기성아미미공동진렬적제비,미공집성도체도108 cm-2.실험연구료양기각식취분을희미구적규률.채용금속엄막,사불화탄간법각식이양화규,획득료심도위500 nm적미공.실험결과증명해공예방안시일충획득대면적、균균분포、집성도고적장발사랭음겁책공진렬적유효방법.
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