强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
6期
1375-1378
,共4页
射频功率%射频等离子体化学气相沉积%类金刚石薄膜%Raman光谱
射頻功率%射頻等離子體化學氣相沉積%類金剛石薄膜%Raman光譜
사빈공솔%사빈등리자체화학기상침적%류금강석박막%Raman광보
在不同射频功率条件下,实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度.利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度.实验表明,随着功率的增加,金刚石相的相对分数减少,薄膜的折射率先减小再增加然后减小,射频功率大于910 W时,沉积速率急剧增大.而薄膜的硬度先增加后减小,在射频功率为860 W处获得最大值.
在不同射頻功率條件下,實驗研究瞭射頻等離子體化學氣相沉積類金剛石薄膜的金剛石相分數、光學常數和硬度.利用Raman光譜儀、橢圓偏振儀、數字式顯微硬度計分彆測試瞭不同條件下單層類金剛石薄膜的金剛石相分數、光學常數和硬度.實驗錶明,隨著功率的增加,金剛石相的相對分數減少,薄膜的摺射率先減小再增加然後減小,射頻功率大于910 W時,沉積速率急劇增大.而薄膜的硬度先增加後減小,在射頻功率為860 W處穫得最大值.
재불동사빈공솔조건하,실험연구료사빈등리자체화학기상침적류금강석박막적금강석상분수、광학상수화경도.이용Raman광보의、타원편진의、수자식현미경도계분별측시료불동조건하단층류금강석박막적금강석상분수、광학상수화경도.실험표명,수착공솔적증가,금강석상적상대분수감소,박막적절사솔선감소재증가연후감소,사빈공솔대우910 W시,침적속솔급극증대.이박막적경도선증가후감소,재사빈공솔위860 W처획득최대치.
