功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2012年
12期
1643-1646,1650
,共5页
代海洋%陈镇平%程学瑞%翟凤潇%苏玉玲
代海洋%陳鎮平%程學瑞%翟鳳瀟%囌玉玲
대해양%진진평%정학서%적봉소%소옥령
类金刚石薄膜%辅助气体组成%中频脉冲非平衡磁控溅射技术%结构%性能
類金剛石薄膜%輔助氣體組成%中頻脈遲非平衡磁控濺射技術%結構%性能
류금강석박막%보조기체조성%중빈맥충비평형자공천사기술%결구%성능
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.
分彆以氬氣-甲烷、氬氣-乙炔為輔助氣體,高純石墨為靶材,利用中頻脈遲非平衡磁控濺射技術製備瞭類金剛石薄膜.採用Raman光譜、X射線光電子能譜、納米壓痕測試儀、原子力顯微鏡對所製備類金剛石薄膜的鍵結構、機械性能、錶麵形貌進行瞭分析.Raman光譜和X射線光電子能譜測試結果錶明,以氬氣-甲烷為輔助氣體製備的類金剛石薄膜中sp3雜化鍵的含量比以氬氣-乙炔為輔助氣體製備的類金剛石薄膜的高.納米壓痕測試結果錶明,以氬氣-甲烷為輔助氣體製備的類金剛石薄膜的納米硬度比以氬氣-乙炔為輔助氣體的高.原子力顯微鏡測試結果錶明,以氬氣-甲烷為輔助氣體製備的類金剛石薄膜的RMS錶麵粗糙度比以氬氣-乙炔為輔助氣體的低.以上結果說明輔助氣體組成對類金剛石薄膜的鍵結構、機械性能、錶麵形貌有較大的影響.
분별이아기-갑완、아기-을결위보조기체,고순석묵위파재,이용중빈맥충비평형자공천사기술제비료류금강석박막.채용Raman광보、X사선광전자능보、납미압흔측시의、원자력현미경대소제비류금강석박막적건결구、궤계성능、표면형모진행료분석.Raman광보화X사선광전자능보측시결과표명,이아기-갑완위보조기체제비적류금강석박막중sp3잡화건적함량비이아기-을결위보조기체제비적류금강석박막적고.납미압흔측시결과표명,이아기-갑완위보조기체제비적류금강석박막적납미경도비이아기-을결위보조기체적고.원자력현미경측시결과표명,이아기-갑완위보조기체제비적류금강석박막적RMS표면조조도비이아기-을결위보조기체적저.이상결과설명보조기체조성대류금강석박막적건결구、궤계성능、표면형모유교대적영향.
