北京印刷学院学报
北京印刷學院學報
북경인쇄학원학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF GRAPHIC COMMUNICATION
2013年
2期
63-65,69
,共4页
陈玖香%王伟仲%程志贤%陈强
陳玖香%王偉仲%程誌賢%陳彊
진구향%왕위중%정지현%진강
电感耦合化学气相沉积%等离子体参数%微晶硅薄膜%沉积速率
電感耦閤化學氣相沉積%等離子體參數%微晶硅薄膜%沉積速率
전감우합화학기상침적%등리자체삼수%미정규박막%침적속솔
采用新型内置低感应天线电感耦合化学气相沉积系统沉积P型微晶硅薄膜,使用郎缪尔探针对等离子体参数进行诊断.研究发现离子密度(Ni)可以达到1011-1012cm-3,而电子温度(Te)约在2eV,且随着功率的增大略有下降.P型微晶硅薄膜沉积在玻璃衬底上,研究了功率和气压对其结构和性能的影响.通过在一定SiH4∶B2H6∶H2流量比例下优化工艺参数,结果能在高沉积速率1nm/s的条件下制备高品质微晶硅薄膜.
採用新型內置低感應天線電感耦閤化學氣相沉積繫統沉積P型微晶硅薄膜,使用郎繆爾探針對等離子體參數進行診斷.研究髮現離子密度(Ni)可以達到1011-1012cm-3,而電子溫度(Te)約在2eV,且隨著功率的增大略有下降.P型微晶硅薄膜沉積在玻璃襯底上,研究瞭功率和氣壓對其結構和性能的影響.通過在一定SiH4∶B2H6∶H2流量比例下優化工藝參數,結果能在高沉積速率1nm/s的條件下製備高品質微晶硅薄膜.
채용신형내치저감응천선전감우합화학기상침적계통침적P형미정규박막,사용랑무이탐침대등리자체삼수진행진단.연구발현리자밀도(Ni)가이체도1011-1012cm-3,이전자온도(Te)약재2eV,차수착공솔적증대략유하강.P형미정규박막침적재파리츤저상,연구료공솔화기압대기결구화성능적영향.통과재일정SiH4∶B2H6∶H2류량비례하우화공예삼수,결과능재고침적속솔1nm/s적조건하제비고품질미정규박막.
