传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
12期
1627-1630
,共4页
谢晓%王文%刘明华%何世堂
謝曉%王文%劉明華%何世堂
사효%왕문%류명화%하세당
气体传感器%响应机理%水平剪切型声表面波%聚合物敏感膜
氣體傳感器%響應機理%水平剪切型聲錶麵波%聚閤物敏感膜
기체전감기%향응궤리%수평전절형성표면파%취합물민감막
采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响.计算结果表明,SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化.为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减,在一定的DMMP气体浓度检测范围内,通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数.
採用微擾理論分析瞭覆蓋聚閤物敏感膜的水平剪切型聲錶麵波氣體傳感器(SH-SAW)的響應機理.以針對有機燐毒劑具有良好選擇性的含氟多羥基聚硅氧烷(FPOL)膜材料為例,分析瞭聚閤物膜厚以及傳感器工作頻率在敏感膜吸附氣體時對傳感器響應的影響.計算結果錶明,SH-SAW氣體傳感器對于不同濃度的甲基燐痠二甲酯(DMMP)氣體響應隨FPOL膜厚和傳感器工作頻率的改變呈現非線性變化.為瞭穫得線性特性的傳感器響應及較小的聲波衰減,在一定的DMMP氣體濃度檢測範圍內,通過理論計算提取齣瞭優化的FPOL敏感膜膜厚和傳感器工作頻率等參數.
채용미우이론분석료복개취합물민감막적수평전절형성표면파기체전감기(SH-SAW)적향응궤리.이침대유궤린독제구유량호선택성적함불다간기취규양완(FPOL)막재료위례,분석료취합물막후이급전감기공작빈솔재민감막흡부기체시대전감기향응적영향.계산결과표명,SH-SAW기체전감기대우불동농도적갑기린산이갑지(DMMP)기체향응수FPOL막후화전감기공작빈솔적개변정현비선성변화.위료획득선성특성적전감기향응급교소적성파쇠감,재일정적DMMP기체농도검측범위내,통과이론계산제취출료우화적FPOL민감막막후화전감기공작빈솔등삼수.
