真空
真空
진공
VACUUM
2013年
1期
67-70
,共4页
聂军伟%陈庆川%黄琪%冯春堂%赵哲%耿少飞
聶軍偉%陳慶川%黃琪%馮春堂%趙哲%耿少飛
섭군위%진경천%황기%풍춘당%조철%경소비
电感耦合等离子体%数值模拟%磁流体动力学%射频离子源
電感耦閤等離子體%數值模擬%磁流體動力學%射頻離子源
전감우합등리자체%수치모의%자류체동역학%사빈리자원
为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在放电室内距天线1 cm附近.对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在线圈附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近.
為瞭研究平麵盤香形射頻離子源等離子體放電特性,對射頻電感耦閤離子源內的放電等離子體運用磁流體動力學建立二維磁流體模型進行數值模擬,得到瞭放電室內等離子體參數分佈.結果髮現電子由于受雙極性電勢的約束主要分佈在放電室的中心,放電等離子體吸收能量的區域主要在放電室內距天線1 cm附近.對比電子的溫度和離子密度分佈,在低氣壓條件下,電子加熱的區域和產生電離的區域是分開的,電子加熱的區域齣現在線圈附近,而最彊的電離過程髮生在雙極性電勢最高的位置附近.
위료연구평면반향형사빈리자원등리자체방전특성,대사빈전감우합리자원내적방전등리자체운용자류체동역학건립이유자류체모형진행수치모의,득도료방전실내등리자체삼수분포.결과발현전자유우수쌍겁성전세적약속주요분포재방전실적중심,방전등리자체흡수능량적구역주요재방전실내거천선1 cm부근.대비전자적온도화리자밀도분포,재저기압조건하,전자가열적구역화산생전리적구역시분개적,전자가열적구역출현재선권부근,이최강적전리과정발생재쌍겁성전세최고적위치부근.
