中国光学
中國光學
중국광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS
2013年
1期
20-33
,共14页
极紫外光刻%激光等离子体%极紫外光源%转换效率
極紫外光刻%激光等離子體%極紫外光源%轉換效率
겁자외광각%격광등리자체%겁자외광원%전환효솔
研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源.简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑.文中同时概述了6.x nm(6.5 ～6.7 nm)极紫外光刻光源的最新研究工作.最后,介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩模缺陷检测方面开展的研究工作.
研究併討論瞭下一代光刻的覈心技術之一—激光等離子體極紫外光刻光源.簡要介紹瞭歐美和日本等國極紫外光刻技術的髮展概況,分析瞭新興的下一代13.5 nm極紫外光刻光源的現狀,特彆討論瞭國內外激光等離子體極紫外光刻光源的現狀,指齣目前其存在的主要問題是如何提高光源的轉化效率和減少光源的碎屑.文中同時概述瞭6.x nm(6.5 ～6.7 nm)極紫外光刻光源的最新研究工作.最後,介紹瞭作者所在研究小組近年來在極紫外光源和極紫外光刻掩模缺陷檢測方麵開展的研究工作.
연구병토론료하일대광각적핵심기술지일—격광등리자체겁자외광각광원.간요개소료구미화일본등국겁자외광각기술적발전개황,분석료신흥적하일대13.5 nm겁자외광각광원적현상,특별토론료국내외격광등리자체겁자외광각광원적현상,지출목전기존재적주요문제시여하제고광원적전화효솔화감소광원적쇄설.문중동시개술료6.x nm(6.5 ～6.7 nm)겁자외광각광원적최신연구공작.최후,개소료작자소재연구소조근년래재겁자외광원화겁자외광각엄모결함검측방면개전적연구공작.
