轻工机械
輕工機械
경공궤계
2013年
1期
63-66
,共4页
张靖华%金杰%倪茂林%吴锋
張靖華%金傑%倪茂林%吳鋒
장정화%금걸%예무림%오봉
TiAlN薄膜%组织结构%显微硬度%摩擦系数
TiAlN薄膜%組織結構%顯微硬度%摩抆繫數
TiAlN박막%조직결구%현미경도%마찰계수
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀的方法,在工具钢表面制备了TiAlN薄膜.运用EDS、XRD和SEM对薄膜的成分、组织结构和表面形貌进行了测试,此外,也测定了薄膜的表面显微硬度、摩擦系数.结果表明,不同硬度基体上的TiAlN薄膜成分相同,膜层致密;硬、软基体上薄膜的显微硬度最高可达到2 575 HV0.05和2 295 HV0.025,摩擦系数分别在0.45和0.50左右.
採用閉閤場非平衡磁控濺射離子鍍的方法,在工具鋼錶麵製備瞭TiAlN薄膜.運用EDS、XRD和SEM對薄膜的成分、組織結構和錶麵形貌進行瞭測試,此外,也測定瞭薄膜的錶麵顯微硬度、摩抆繫數.結果錶明,不同硬度基體上的TiAlN薄膜成分相同,膜層緻密;硬、軟基體上薄膜的顯微硬度最高可達到2 575 HV0.05和2 295 HV0.025,摩抆繫數分彆在0.45和0.50左右.
채용폐합장비평형자공천사리자도적방법,재공구강표면제비료TiAlN박막.운용EDS、XRD화SEM대박막적성분、조직결구화표면형모진행료측시,차외,야측정료박막적표면현미경도、마찰계수.결과표명,불동경도기체상적TiAlN박막성분상동,막층치밀;경、연기체상박막적현미경도최고가체도2 575 HV0.05화2 295 HV0.025,마찰계수분별재0.45화0.50좌우.
