机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
1期
164-170
,共7页
光学表面%中频误差%经验模态分解%误差分离
光學錶麵%中頻誤差%經驗模態分解%誤差分離
광학표면%중빈오차%경험모태분해%오차분리
对于高端光学元件,除限制低频面形误差和高频表面粗糙度之外,需要严格控制中频误差,以确保其使用性能.目前国际上广泛采用功率谱密度(Power spectral density,PSD)曲线评价中频误差,该方法以Fourier变换为基础,在全局水平上给出中频误差的综合评价.但是,光学元件磨削与抛光工艺过程中,局部波动和变周期波动是常见的中频误差存在形式.为更加准确地评价中频误差,指导补偿加工,需要识别中频误差频率及位置信息.鉴于此,从光学表面属于非平稳空间信号的角度出发,提出基于经验模态分解的精密光学表面中频误差提取和识别方法,对光学表面拟合残差进行经验模态分解,得到一系列固有模态函数,根据各阶固有模态函数特征,识别不同空间位置存在的表面误差和波动频率,并将其合成得到光学表面的中频和高频误差.仿真与实际检测结果分析证实该方法可以有效识别中频误差特征及其方位.
對于高耑光學元件,除限製低頻麵形誤差和高頻錶麵粗糙度之外,需要嚴格控製中頻誤差,以確保其使用性能.目前國際上廣汎採用功率譜密度(Power spectral density,PSD)麯線評價中頻誤差,該方法以Fourier變換為基礎,在全跼水平上給齣中頻誤差的綜閤評價.但是,光學元件磨削與拋光工藝過程中,跼部波動和變週期波動是常見的中頻誤差存在形式.為更加準確地評價中頻誤差,指導補償加工,需要識彆中頻誤差頻率及位置信息.鑒于此,從光學錶麵屬于非平穩空間信號的角度齣髮,提齣基于經驗模態分解的精密光學錶麵中頻誤差提取和識彆方法,對光學錶麵擬閤殘差進行經驗模態分解,得到一繫列固有模態函數,根據各階固有模態函數特徵,識彆不同空間位置存在的錶麵誤差和波動頻率,併將其閤成得到光學錶麵的中頻和高頻誤差.倣真與實際檢測結果分析證實該方法可以有效識彆中頻誤差特徵及其方位.
대우고단광학원건,제한제저빈면형오차화고빈표면조조도지외,수요엄격공제중빈오차,이학보기사용성능.목전국제상엄범채용공솔보밀도(Power spectral density,PSD)곡선평개중빈오차,해방법이Fourier변환위기출,재전국수평상급출중빈오차적종합평개.단시,광학원건마삭여포광공예과정중,국부파동화변주기파동시상견적중빈오차존재형식.위경가준학지평개중빈오차,지도보상가공,수요식별중빈오차빈솔급위치신식.감우차,종광학표면속우비평은공간신호적각도출발,제출기우경험모태분해적정밀광학표면중빈오차제취화식별방법,대광학표면의합잔차진행경험모태분해,득도일계렬고유모태함수,근거각계고유모태함수특정,식별불동공간위치존재적표면오차화파동빈솔,병장기합성득도광학표면적중빈화고빈오차.방진여실제검측결과분석증실해방법가이유효식별중빈오차특정급기방위.