CAJ | 학술논문

利用纳米划痕仪和液压伺服磨损试验机研究不同接触尺度下滑动速度对单晶硅磨损性能的影响.结果表明:单晶硅在不同接触尺度条件下表现出不同的损伤特征,同时滑动速度对其损伤有很大影响.微观单点接触条件下,单晶硅在低载下的损伤表现为凸起；速度越高,摩擦诱导的非晶层越薄,形成的凸结构越低.随着载荷增加,当接触压力高于单晶硅的硬度时,单晶硅的损伤逐渐转变为沟槽；滑动速度越高,接触区材料的加工硬化越剧烈,沟槽越浅.宏观多点接触条件下,较低的名义接触压力即会在单晶硅表面产生磨损,磨损过程中同时发生犁沟、疲劳和氧化磨损；滑动速度越高,单晶硅表面裂纹萌生得越多,产生的磨屑越细,磨损量越低.该研究结果有助于单晶硅超光滑表面制造的工艺改进以及硅基微机电系统的摩擦学优化设计.
이용납미화흔의화액압사복마손시험궤연구불동접촉척도하활동속도대단정규마손성능적영향.결과표명:단정규재불동접촉척도조건하표현출불동적손상특정,동시활동속도대기손상유흔대영향.미관단점접촉조건하,단정규재저재하적손상표현위철기；속도월고,마찰유도적비정층월박,형성적철결구월저.수착재하증가,당접촉압력고우단정규적경도시,단정규적손상축점전변위구조；활동속도월고,접촉구재료적가공경화월극렬,구조월천.굉관다점접촉조건하,교저적명의접촉압력즉회재단정규표면산생마손,마손과정중동시발생리구、피로화양화마손；활동속도월고,단정규표면렬문맹생득월다,산생적마설월세,마손량월저.해연구결과유조우단정규초광활표면제조적공예개진이급규기미궤전계통적마찰학우화설계.