光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2013年
1期
79-83
,共5页
光电经纬仪%主镜%压电陶瓷%面型误差%视轴稳定
光電經緯儀%主鏡%壓電陶瓷%麵型誤差%視軸穩定
광전경위의%주경%압전도자%면형오차%시축은정
光电经纬仪俯仰动作时,引起主镜的面型误差,从而影响整个光学系统的准确度,以往主镜支撑结构采用被动式补偿方式,来保证实际面型最大误差在设计指标之内,本文基于压电陶瓷主动面型补偿技术,通过对俯仰变化引起面型误差曲线的实时修正,来主动控制主镜装调和动作引起的面型误差.使用光机系统联合仿真方法,拟合主镜面型误差,然后采用压电陶瓷的主动补偿技术修正面型误差,能够使原主镜峰值下降到66.9 nm,均方根最大值下降到12.9 nm,满足15.82 nm的均方根要求.基于压电陶瓷的主动面型补偿技术不仅可以很好地实时补偿主镜的动态面型误差,提高光学系统的像质清晰度和视轴稳定性,对大口径高准确度主镜系统的装调与动态检测有重要的意义.
光電經緯儀俯仰動作時,引起主鏡的麵型誤差,從而影響整箇光學繫統的準確度,以往主鏡支撐結構採用被動式補償方式,來保證實際麵型最大誤差在設計指標之內,本文基于壓電陶瓷主動麵型補償技術,通過對俯仰變化引起麵型誤差麯線的實時脩正,來主動控製主鏡裝調和動作引起的麵型誤差.使用光機繫統聯閤倣真方法,擬閤主鏡麵型誤差,然後採用壓電陶瓷的主動補償技術脩正麵型誤差,能夠使原主鏡峰值下降到66.9 nm,均方根最大值下降到12.9 nm,滿足15.82 nm的均方根要求.基于壓電陶瓷的主動麵型補償技術不僅可以很好地實時補償主鏡的動態麵型誤差,提高光學繫統的像質清晰度和視軸穩定性,對大口徑高準確度主鏡繫統的裝調與動態檢測有重要的意義.
광전경위의부앙동작시,인기주경적면형오차,종이영향정개광학계통적준학도,이왕주경지탱결구채용피동식보상방식,래보증실제면형최대오차재설계지표지내,본문기우압전도자주동면형보상기술,통과대부앙변화인기면형오차곡선적실시수정,래주동공제주경장조화동작인기적면형오차.사용광궤계통연합방진방법,의합주경면형오차,연후채용압전도자적주동보상기술수정면형오차,능구사원주경봉치하강도66.9 nm,균방근최대치하강도12.9 nm,만족15.82 nm적균방근요구.기우압전도자적주동면형보상기술불부가이흔호지실시보상주경적동태면형오차,제고광학계통적상질청석도화시축은정성,대대구경고준학도주경계통적장조여동태검측유중요적의의.
