制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2013年
2期
4-7
,共4页
逻辑调度%有限状态机%硅片传输%集群式
邏輯調度%有限狀態機%硅片傳輸%集群式
라집조도%유한상태궤%규편전수%집군식
集群式IC装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统,复杂逻辑调度是控制系统设计的核心问题.硅片传输设备的个体行为逻辑和协作行为逻辑都具有严格的时序性,有限状态机模型能够有效描述这一控制特征.利用有限状态机建立了硅片传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础；同时建立了具有强时序性的逻辑调度任务状态模型；从设备协作的角度讨论了有限状态机之间的同步问题和基于状态机协同的异常处理模式.自上而下的状态机体系成为控制软件系统的主体,使得装备的所有行为都在该体系的约束和引导下进行.应用实例表明,有限状态机在装备行为建模方面有广泛的应用潜力.
集群式IC裝備硅片傳輸控製繫統是高度複雜的離散事件動態繫統,複雜邏輯調度是控製繫統設計的覈心問題.硅片傳輸設備的箇體行為邏輯和協作行為邏輯都具有嚴格的時序性,有限狀態機模型能夠有效描述這一控製特徵.利用有限狀態機建立瞭硅片傳輸設備的箇體行為分層模型,作為控製繫統的基礎；同時建立瞭具有彊時序性的邏輯調度任務狀態模型；從設備協作的角度討論瞭有限狀態機之間的同步問題和基于狀態機協同的異常處理模式.自上而下的狀態機體繫成為控製軟件繫統的主體,使得裝備的所有行為都在該體繫的約束和引導下進行.應用實例錶明,有限狀態機在裝備行為建模方麵有廣汎的應用潛力.
집군식IC장비규편전수공제계통시고도복잡적리산사건동태계통,복잡라집조도시공제계통설계적핵심문제.규편전수설비적개체행위라집화협작행위라집도구유엄격적시서성,유한상태궤모형능구유효묘술저일공제특정.이용유한상태궤건립료규편전수설비적개체행위분층모형,작위공제계통적기출；동시건립료구유강시서성적라집조도임무상태모형；종설비협작적각도토론료유한상태궤지간적동보문제화기우상태궤협동적이상처리모식.자상이하적상태궤체계성위공제연건계통적주체,사득장비적소유행위도재해체계적약속화인도하진행.응용실례표명,유한상태궤재장비행위건모방면유엄범적응용잠력.
