组合机床与自动化加工技术
組閤機床與自動化加工技術
조합궤상여자동화가공기술
MODULAR MACHINE TOOL & AUTOMATIC MANUFACTURING TECHNIQUE
2013年
2期
11-13,18
,共4页
李学威%孙义田%何伟全%张鹏%陈守良
李學威%孫義田%何偉全%張鵬%陳守良
리학위%손의전%하위전%장붕%진수량
晶圆预对准%偏心%缺口%转动中心偏置%CCD
晶圓預對準%偏心%缺口%轉動中心偏置%CCD
정원예대준%편심%결구%전동중심편치%CCD
为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对准算法对晶圆的偏心及缺口位置进行计算,再将计算结果与设定的实际晶圆偏心及缺口位置进行对比,得到计算误差.通过对不同条件下仿真结果的对比,系统地研究了晶圆预对准过程中各参数对其精度的影响规律,获得了与晶圆预对准误差的控制、标定及补偿相关的重要结论.
為瞭繫統的研究各參數對晶圓預對準精度的影響,建立瞭晶圓邊緣數據採集模型,實現瞭在不同條件下包括缺口在內的晶圓邊緣完整數據的採集,併在此基礎上採用目前較為常見的預對準算法對晶圓的偏心及缺口位置進行計算,再將計算結果與設定的實際晶圓偏心及缺口位置進行對比,得到計算誤差.通過對不同條件下倣真結果的對比,繫統地研究瞭晶圓預對準過程中各參數對其精度的影響規律,穫得瞭與晶圓預對準誤差的控製、標定及補償相關的重要結論.
위료계통적연구각삼수대정원예대준정도적영향,건립료정원변연수거채집모형,실현료재불동조건하포괄결구재내적정원변연완정수거적채집,병재차기출상채용목전교위상견적예대준산법대정원적편심급결구위치진행계산,재장계산결과여설정적실제정원편심급결구위치진행대비,득도계산오차.통과대불동조건하방진결과적대비,계통지연구료정원예대준과정중각삼수대기정도적영향규률,획득료여정원예대준오차적공제、표정급보상상관적중요결론.
