光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
2期
394-399
,共6页
李朋志%葛川%苏志德%闫丰%隋永新%杨怀江
李朋誌%葛川%囌誌德%閆豐%隋永新%楊懷江
리붕지%갈천%소지덕%염봉%수영신%양부강
压电陶瓷驱动器(PZT)%迟滞%动态模糊系统%前馈%轨迹跟踪
壓電陶瓷驅動器(PZT)%遲滯%動態模糊繫統%前饋%軌跡跟蹤
압전도자구동기(PZT)%지체%동태모호계통%전궤%궤적근종
针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究.介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控制的思想,提出了周期性轨迹跟踪的DFS前馈+PI控制方法.最后,针对20 Hz的三角波和正弦波期望轨迹进行了跟踪控制实验.实验结果表明:提出的控制方法对三角波和正弦波期望轨迹的最大跟踪误差分别为0.25%和0.27%,相对于PI控制,跟踪精度分别提高了52倍和64倍,而最大跟踪绝对误差分别降低到5.1 nm和5.5 nm.结果显示这种控制方法易于实现,周期性轨迹跟踪精度高.
針對壓電陶瓷驅動器(PZT)的遲滯非線性對週期性超精密跟蹤精度的影響,對基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊規則的動態模糊繫統(DFS)前饋+PI控製方法進行瞭研究.介紹瞭DFS模型前提部分和結論部分的辨識方法;結閤直接逆模型控製和迭代學習控製的思想,提齣瞭週期性軌跡跟蹤的DFS前饋+PI控製方法.最後,針對20 Hz的三角波和正絃波期望軌跡進行瞭跟蹤控製實驗.實驗結果錶明:提齣的控製方法對三角波和正絃波期望軌跡的最大跟蹤誤差分彆為0.25%和0.27%,相對于PI控製,跟蹤精度分彆提高瞭52倍和64倍,而最大跟蹤絕對誤差分彆降低到5.1 nm和5.5 nm.結果顯示這種控製方法易于實現,週期性軌跡跟蹤精度高.
침대압전도자구동기(PZT)적지체비선성대주기성초정밀근종정도적영향,대기우Takagi-Sugeno(T-S)형모호규칙적동태모호계통(DFS)전궤+PI공제방법진행료연구.개소료DFS모형전제부분화결론부분적변식방법;결합직접역모형공제화질대학습공제적사상,제출료주기성궤적근종적DFS전궤+PI공제방법.최후,침대20 Hz적삼각파화정현파기망궤적진행료근종공제실험.실험결과표명:제출적공제방법대삼각파화정현파기망궤적적최대근종오차분별위0.25%화0.27%,상대우PI공제,근종정도분별제고료52배화64배,이최대근종절대오차분별강저도5.1 nm화5.5 nm.결과현시저충공제방법역우실현,주기성궤적근종정도고.