传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
3期
147-149
,共3页
雷程%梁庭%王凯%刘岗%林斯佳%李颖
雷程%樑庭%王凱%劉崗%林斯佳%李穎
뢰정%량정%왕개%류강%림사가%리영
介电常数%介电损耗%热释电%铌酸锂晶片
介電常數%介電損耗%熱釋電%鈮痠鋰晶片
개전상수%개전손모%열석전%니산리정편
热释电材料铌酸锂(LN)晶片可作为热释电探测器敏感层材料.介电常数和介电损耗是判断热释电材料性能的2个重要参数.为解决在测试参数时,测试数据量大,测试精度要求高、测试时间较长等问题,提出了一种自动采集、自动记录及处理的测试系统,并测试出减薄前后LN晶片的介电常数和介电损耗随温度的变化曲线.经过数据分析得出,LN晶片的相对介电常数随着温度的升高呈增大趋势,减薄前后其相对介电常数变化不是很大,减薄后略减小;而LN晶片的介电损耗随着温度的升高呈增大趋势,160℃以下增长缓慢,但在160℃以上迅速增大;LN晶片的介电常数和介电损耗随温度的变化情况基本符合低温条件下德拜模型偶极子弛豫.
熱釋電材料鈮痠鋰(LN)晶片可作為熱釋電探測器敏感層材料.介電常數和介電損耗是判斷熱釋電材料性能的2箇重要參數.為解決在測試參數時,測試數據量大,測試精度要求高、測試時間較長等問題,提齣瞭一種自動採集、自動記錄及處理的測試繫統,併測試齣減薄前後LN晶片的介電常數和介電損耗隨溫度的變化麯線.經過數據分析得齣,LN晶片的相對介電常數隨著溫度的升高呈增大趨勢,減薄前後其相對介電常數變化不是很大,減薄後略減小;而LN晶片的介電損耗隨著溫度的升高呈增大趨勢,160℃以下增長緩慢,但在160℃以上迅速增大;LN晶片的介電常數和介電損耗隨溫度的變化情況基本符閤低溫條件下德拜模型偶極子弛豫.
열석전재료니산리(LN)정편가작위열석전탐측기민감층재료.개전상수화개전손모시판단열석전재료성능적2개중요삼수.위해결재측시삼수시,측시수거량대,측시정도요구고、측시시간교장등문제,제출료일충자동채집、자동기록급처리적측시계통,병측시출감박전후LN정편적개전상수화개전손모수온도적변화곡선.경과수거분석득출,LN정편적상대개전상수수착온도적승고정증대추세,감박전후기상대개전상수변화불시흔대,감박후략감소;이LN정편적개전손모수착온도적승고정증대추세,160℃이하증장완만,단재160℃이상신속증대;LN정편적개전상수화개전손모수온도적변화정황기본부합저온조건하덕배모형우겁자이예.
