传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
3期
21-24
,共4页
贺琨%崔红娟%侯占强%刘学%肖定邦%吴学忠
賀琨%崔紅娟%侯佔彊%劉學%肖定邦%吳學忠
하곤%최홍연%후점강%류학%초정방%오학충
微机械振动陀螺%模态耦合%激光修形%加工误差
微機械振動陀螺%模態耦閤%激光脩形%加工誤差
미궤계진동타라%모태우합%격광수형%가공오차
较大的模态耦合误差严重影响陀螺仪的零偏稳定性.研究了一种微机械振动陀螺仪的模态耦合误差形成机理,仿真分析了结构加工误差对模态耦合误差的影响规律.仿真结果表明:振动结构支撑梁上的加工误差是引起结构刚度不对称并产生模态耦合误差的主要因素,在与该加工误差对称的位置去除相应的材料可以减小甚至消除模态耦合误差.采用紫外激光微细加工技术,对微陀螺样机进行了结构平衡实验,激光修形后在没有输入角速度时,微陀螺样机模态耦合误差信号的峰峰值从2.88V降低到0.24V,取得了明显的修形效果.
較大的模態耦閤誤差嚴重影響陀螺儀的零偏穩定性.研究瞭一種微機械振動陀螺儀的模態耦閤誤差形成機理,倣真分析瞭結構加工誤差對模態耦閤誤差的影響規律.倣真結果錶明:振動結構支撐樑上的加工誤差是引起結構剛度不對稱併產生模態耦閤誤差的主要因素,在與該加工誤差對稱的位置去除相應的材料可以減小甚至消除模態耦閤誤差.採用紫外激光微細加工技術,對微陀螺樣機進行瞭結構平衡實驗,激光脩形後在沒有輸入角速度時,微陀螺樣機模態耦閤誤差信號的峰峰值從2.88V降低到0.24V,取得瞭明顯的脩形效果.
교대적모태우합오차엄중영향타라의적령편은정성.연구료일충미궤계진동타라의적모태우합오차형성궤리,방진분석료결구가공오차대모태우합오차적영향규률.방진결과표명:진동결구지탱량상적가공오차시인기결구강도불대칭병산생모태우합오차적주요인소,재여해가공오차대칭적위치거제상응적재료가이감소심지소제모태우합오차.채용자외격광미세가공기술,대미타라양궤진행료결구평형실험,격광수형후재몰유수입각속도시,미타라양궤모태우합오차신호적봉봉치종2.88V강저도0.24V,취득료명현적수형효과.
