传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
3期
15-16
,共2页
复合量程加速度计%残余应力%键合宽度
複閤量程加速度計%殘餘應力%鍵閤寬度
복합량정가속도계%잔여응력%건합관도
复合量程加速度计阳极键合过程中产生的残余热应力会引起加速度计的零位失调,也是导致加速度计失效的原因之一.对键合过程中产生的残余热应力进行了研究,仿真并分析了残余热应力与键合温度、玻璃基底厚度和框架键合宽度的影响,确定了适合复合量程加速度计的最佳键合宽度和玻璃基底厚度.
複閤量程加速度計暘極鍵閤過程中產生的殘餘熱應力會引起加速度計的零位失調,也是導緻加速度計失效的原因之一.對鍵閤過程中產生的殘餘熱應力進行瞭研究,倣真併分析瞭殘餘熱應力與鍵閤溫度、玻璃基底厚度和框架鍵閤寬度的影響,確定瞭適閤複閤量程加速度計的最佳鍵閤寬度和玻璃基底厚度.
복합량정가속도계양겁건합과정중산생적잔여열응력회인기가속도계적령위실조,야시도치가속도계실효적원인지일.대건합과정중산생적잔여열응력진행료연구,방진병분석료잔여열응력여건합온도、파리기저후도화광가건합관도적영향,학정료괄합복합량정가속도계적최가건합관도화파리기저후도.
