宁夏工程技术
寧夏工程技術
저하공정기술
NINGXIA ENGINGEERING TECHNOLOGY
2012年
4期
345-347,350
,共4页
太阳能级多晶硅%冶金物理法%真空感应熔炼
太暘能級多晶硅%冶金物理法%真空感應鎔煉
태양능급다정규%야금물리법%진공감응용련
solar grade polycrystalline silicon%physical metallurgy%vacuum induction melting process
为了探讨真空感应熔炼工艺在冶金物理法制备太阳能级多晶硅生产中的应用效果，利用真空熔炼设备，对硅料在不同真空度条件下进行制备试验，对比试验前后原料和成品中的P元素以及几种金属元素的化验结果可知，在冶金物理法制备太阳能级多晶硅中真空感应熔炼工艺完全可以起到降低杂质含量，提高硅晶体纯度的作用．
為瞭探討真空感應鎔煉工藝在冶金物理法製備太暘能級多晶硅生產中的應用效果，利用真空鎔煉設備，對硅料在不同真空度條件下進行製備試驗，對比試驗前後原料和成品中的P元素以及幾種金屬元素的化驗結果可知，在冶金物理法製備太暘能級多晶硅中真空感應鎔煉工藝完全可以起到降低雜質含量，提高硅晶體純度的作用．
위료탐토진공감응용련공예재야금물리법제비태양능급다정규생산중적응용효과，이용진공용련설비，대규료재불동진공도조건하진행제비시험，대비시험전후원료화성품중적P원소이급궤충금속원소적화험결과가지，재야금물리법제비태양능급다정규중진공감응용련공예완전가이기도강저잡질함량，제고규정체순도적작용．
In order to research the effect on producing solar grade polycrystalline silicon, using vacuum induction melting process, the tests under different vacuum degree have been studied by vacuum induction melting equipments. According to ICP-OES results on phosphorus and several metal elements of raw materials and products, vacuum induction melting process can be used for solar grade polycrystalline silicon in "physical metallurgy" to improve the purity of silicon effectively.
