江西科学
江西科學
강서과학
JIANGXI SCIENCE
2012年
6期
784-787,805
,共5页
吴闺生%欧阳晓芳%李荣%刘澄宇%查国君%刘波%朱桂新
吳閨生%歐暘曉芳%李榮%劉澄宇%查國君%劉波%硃桂新
오규생%구양효방%리영%류징우%사국군%류파%주계신
纳米硅薄膜%等离子体增强化学气相沉积%沉积理论%性能
納米硅薄膜%等離子體增彊化學氣相沉積%沉積理論%性能
납미규박막%등리자체증강화학기상침적%침적이론%성능
Nanocrystals silicon thin films%PECVD%Deposition theory%Property
主要讲述了单晶体硅电池、多晶体硅电池、微晶硅电池及薄膜硅电池的性质及特点，同时介绍了硅太阳能电池的发展历程；讲述了纳米硅薄膜太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积制备及沉积理论；论证了H稀释浓度对硅纳米薄膜太阳电池性能的影响；阐述了沉积气压和衬底温度对薄膜性能的影响；最后讲述了透明导电薄膜在薄膜太阳能电池中的应用情况及光学性质。
主要講述瞭單晶體硅電池、多晶體硅電池、微晶硅電池及薄膜硅電池的性質及特點，同時介紹瞭硅太暘能電池的髮展歷程；講述瞭納米硅薄膜太暘能電池的等離子體增彊化學氣相沉積製備及沉積理論；論證瞭H稀釋濃度對硅納米薄膜太暘電池性能的影響；闡述瞭沉積氣壓和襯底溫度對薄膜性能的影響；最後講述瞭透明導電薄膜在薄膜太暘能電池中的應用情況及光學性質。
주요강술료단정체규전지、다정체규전지、미정규전지급박막규전지적성질급특점，동시개소료규태양능전지적발전역정；강술료납미규박막태양능전지적등리자체증강화학기상침적제비급침적이론；론증료H희석농도대규납미박막태양전지성능적영향；천술료침적기압화츤저온도대박막성능적영향；최후강술료투명도전박막재박막태양능전지중적응용정황급광학성질。
We study the properties of the monocrystalline, polycrystalline, microc~Tstalline, thin film solar cell, and introduce the development of silicon solar cell. The plasma enhanced chemical vapor deposition method and deposition theory on silicon thin film solar cell are discussed by us. The per- formanc influence of the H dilution concentration on silicon nanocrystals film solar cell is demonstra- ted. It is reported on the correlation of the film performance and the deposition pressure and the sub- strate temperature. Finally, we discussed the application of the transparent conductive film in the thin film solar cell the and their optical properties.
