CAJ | 학술논문

为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法.首先对2.45 GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840 Gs的环形磁铁,测试得到加载磁场前后的S参数;最后通过改变磁铁及磁极方向,研究其对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响.实验结果表明:当空气气压为666.6 Pa时,磁场强度和磁极方向均可使小功率微波微等离子体的激励功率和熄灭功率发生变化,且磁铁S极朝外更有利于激励;随着磁场强度的增大,激励功率逐渐减小;外加磁场时的最小激励功率比未加载磁场时的激励功率减小了15％.该研究结果在微化学分析系统、小尺寸材料的表面处理等领域具有良好的应用前景.
위사소공솔미파미등리자체원진일보소형화,제출료통과외가자장감소미파미등리자체격려공솔적방법.수선대2.45 GHz평면미대점변라선천선진행수치방진,득도최가결구척촌;기차재라선천선상가재고사자감응강도분별위360、990화2 840 Gs적배형자철,측시득도가재자장전후적S삼수;최후통과개변자철급자겁방향,연구기대소공솔전감우합미파미등리자체격려적영향.실험결과표명:당공기기압위666.6 Pa시,자장강도화자겁방향균가사소공솔미파미등리자체적격려공솔화식멸공솔발생변화,차자철S겁조외경유리우격려;수착자장강도적증대,격려공솔축점감소;외가자장시적최소격려공솔비미가재자장시적격려공솔감소료15％.해연구결과재미화학분석계통、소척촌재료적표면처리등영역구유량호적응용전경.