红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2013年
1期
181-184
,共4页
付秀华%杨永亮%刘国军%李琳%潘永刚%Ewan Waddell
付秀華%楊永亮%劉國軍%李琳%潘永剛%Ewan Waddell
부수화%양영량%류국군%리림%반영강%Ewan Waddell
光学薄膜%头罩%田口实验方法%均匀性
光學薄膜%頭罩%田口實驗方法%均勻性
광학박막%두조%전구실험방법%균균성
根据军用光学仪器对红外窗口薄膜厚度均匀性的特殊要求,采用Femm42软件对射频等离子体化学气相沉积系统中真空室内的电场进行模拟分析,通过改变DOME的高度,并加入一金属圆环,解决了头罩边缘脱膜的问题.并利用田口实验方法指导实验,以减少实验次数,尽快找出影响薄膜性能的主次条件,同时可以分析各工艺参数对结果的影响趋势,最终确定最佳的工艺参数,在大面积头罩上成功镀制了厚度均匀性小于3％,且能承受恶劣环境测试的类金刚石薄膜.
根據軍用光學儀器對紅外窗口薄膜厚度均勻性的特殊要求,採用Femm42軟件對射頻等離子體化學氣相沉積繫統中真空室內的電場進行模擬分析,通過改變DOME的高度,併加入一金屬圓環,解決瞭頭罩邊緣脫膜的問題.併利用田口實驗方法指導實驗,以減少實驗次數,儘快找齣影響薄膜性能的主次條件,同時可以分析各工藝參數對結果的影響趨勢,最終確定最佳的工藝參數,在大麵積頭罩上成功鍍製瞭厚度均勻性小于3％,且能承受噁劣環境測試的類金剛石薄膜.
근거군용광학의기대홍외창구박막후도균균성적특수요구,채용Femm42연건대사빈등리자체화학기상침적계통중진공실내적전장진행모의분석,통과개변DOME적고도,병가입일금속원배,해결료두조변연탈막적문제.병이용전구실험방법지도실험,이감소실험차수,진쾌조출영향박막성능적주차조건,동시가이분석각공예삼수대결과적영향추세,최종학정최가적공예삼수,재대면적두조상성공도제료후도균균성소우3％,차능승수악렬배경측시적류금강석박막.
