红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2013年
1期
69-72
,共4页
张建心%刘磊%陈微%渠红伟%郑婉华
張建心%劉磊%陳微%渠紅偉%鄭婉華
장건심%류뢰%진미%거홍위%정완화
光子晶体%侧模%半导体激光器
光子晶體%側模%半導體激光器
광자정체%측모%반도체격광기
为了实现半导体激光器的单侧模稳定工作,提出了一种在激光器的脊条两侧引入光子晶体结构滤除半导体激光器高阶侧模的方法.通过调整激光器上表面的刻蚀深度、光子晶体区域的条宽和间隔来改变激光器内部的模场分布,同时结合选择性的载流子注入来增强基模的激射优势,进而减少侧模的数量.实验上制作了主脊条宽度为6μm,光子晶体周期5μm,波长1 550 nm的半导体激光器.测试结果表明:在连续工作的情况下,电流300 mA的时候,高阶侧模受到抑制,水平发散角变为10.2°,证实了光子晶体结构调制激光器侧模的可行性.
為瞭實現半導體激光器的單側模穩定工作,提齣瞭一種在激光器的脊條兩側引入光子晶體結構濾除半導體激光器高階側模的方法.通過調整激光器上錶麵的刻蝕深度、光子晶體區域的條寬和間隔來改變激光器內部的模場分佈,同時結閤選擇性的載流子註入來增彊基模的激射優勢,進而減少側模的數量.實驗上製作瞭主脊條寬度為6μm,光子晶體週期5μm,波長1 550 nm的半導體激光器.測試結果錶明:在連續工作的情況下,電流300 mA的時候,高階側模受到抑製,水平髮散角變為10.2°,證實瞭光子晶體結構調製激光器側模的可行性.
위료실현반도체격광기적단측모은정공작,제출료일충재격광기적척조량측인입광자정체결구려제반도체격광기고계측모적방법.통과조정격광기상표면적각식심도、광자정체구역적조관화간격래개변격광기내부적모장분포,동시결합선택성적재류자주입래증강기모적격사우세,진이감소측모적수량.실험상제작료주척조관도위6μm,광자정체주기5μm,파장1 550 nm적반도체격광기.측시결과표명:재련속공작적정황하,전류300 mA적시후,고계측모수도억제,수평발산각변위10.2°,증실료광자정체결구조제격광기측모적가행성.
