CAJ | 학술논문

硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一，如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法，并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法，并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算，进而实现传感器输出的动态温补，达到了很好的输出线性性。实验结果表明，补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5% F.S。
규압조식압력전감기적영점온도표이화령민도온도표이시영향전감기성능적주요인소지일，여하능사해류오차득도유효보상대우제고기성능흔유의의。통과대규압조식압력전감기건립고계온도보상모형진행온도오차보상시일충유효적방법，병재해모형기출상급출료의합계수계산방법，병용Matlab GUI연건래실현온도보상계수계산，진이실현전감기수출적동태온보，체도료흔호적수출선성성。실험결과표명，보상후전감기수출적비선성오차소우0.5% F.S。