CAJ | 학술논문

为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值.提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验.实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量.
위연구대면적격광투영광각적조초,이용Zemax광학설계연건모의리초대광정차(OPD)화조제전체함수(MTF)적영향,분석이자대투영폭광도형질량적영향,급출계통최대적리초량치.제출일충이용현미경적조초방법,분석차방법적조초오차주요래자우현미경경심,근거경심표체식화계통최대리초량치,선택일관경심불대우계통최대리초량적현미경래구건조초계통,병기우해조초계통진행광각실험.실험결과표명:이용해방법대투영성상광각진행조초,무론시부리초,변연시장여중심시장적MTF균유차이,분변솔야유차이,단저충차이불영향광각도형적질량.