应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
3期
463-468
,共6页
李强%刘昂%高波%徐凯源%柴立群
李彊%劉昂%高波%徐凱源%柴立群
리강%류앙%고파%서개원%시립군
测量%光学不均匀性%绝对检测%误差分析
測量%光學不均勻性%絕對檢測%誤差分析
측량%광학불균균성%절대검측%오차분석
绝对测量技术去除了干涉仪参考面面形误差,可实现光学材料光学不均匀性的高精度测量.对现有主要光学材料光学不均匀性绝对检测技术进行了总结比较,针对像素错位、干涉图分辨率、干涉仪测量重复性、样品厚度以及折射率测量等因素对光学不均匀性绝对检测的影响进行了实验分析.实验结果表明:干涉仪重复性是光学不均匀性测量的主要误差.样品翻转测量法、样品直接透射测量法、平行平板样品测量法3种测量方法均可实现光学不均匀性(RMS) 10-8检测精度.
絕對測量技術去除瞭榦涉儀參攷麵麵形誤差,可實現光學材料光學不均勻性的高精度測量.對現有主要光學材料光學不均勻性絕對檢測技術進行瞭總結比較,針對像素錯位、榦涉圖分辨率、榦涉儀測量重複性、樣品厚度以及摺射率測量等因素對光學不均勻性絕對檢測的影響進行瞭實驗分析.實驗結果錶明:榦涉儀重複性是光學不均勻性測量的主要誤差.樣品翻轉測量法、樣品直接透射測量法、平行平闆樣品測量法3種測量方法均可實現光學不均勻性(RMS) 10-8檢測精度.
절대측량기술거제료간섭의삼고면면형오차,가실현광학재료광학불균균성적고정도측량.대현유주요광학재료광학불균균성절대검측기술진행료총결비교,침대상소착위、간섭도분변솔、간섭의측량중복성、양품후도이급절사솔측량등인소대광학불균균성절대검측적영향진행료실험분석.실험결과표명:간섭의중복성시광학불균균성측량적주요오차.양품번전측량법、양품직접투사측량법、평행평판양품측량법3충측량방법균가실현광학불균균성(RMS) 10-8검측정도.
