应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
3期
457-462
,共6页
冯秀%陈旭%徐楠%陈凡秀%谢欣%杨连祥
馮秀%陳旭%徐楠%陳凡秀%謝訢%楊連祥
풍수%진욱%서남%진범수%사흔%양련상
数字散斑相关%电子散斑干涉%位移%测量精度
數字散斑相關%電子散斑榦涉%位移%測量精度
수자산반상관%전자산반간섭%위이%측량정도
采用离面位移测量精度达到10 nm～20 nm的电子散斑干涉测量系统验证了双目视觉数字散斑相关测量系统的离面位移测量精度.分别用电子散斑干涉测量系统和双目视觉数字散斑相关测量系统同时测量了平板离面位移,并对所测量的位移最大值进行了分析处理及比较.结果表明,双目视觉数字散斑相关测量系统的物体离面位移分布云图与电子散斑干涉测量系统的结果基本相同,且两者位移均方根相差为2.76 μm～3.56 μm,相对误差为4.59％～7.60％.因此,当被测量物体的离面位移大于4 μm时,双目视觉Q400测量系统精度可达到电子散斑干涉测量系统的精度.
採用離麵位移測量精度達到10 nm～20 nm的電子散斑榦涉測量繫統驗證瞭雙目視覺數字散斑相關測量繫統的離麵位移測量精度.分彆用電子散斑榦涉測量繫統和雙目視覺數字散斑相關測量繫統同時測量瞭平闆離麵位移,併對所測量的位移最大值進行瞭分析處理及比較.結果錶明,雙目視覺數字散斑相關測量繫統的物體離麵位移分佈雲圖與電子散斑榦涉測量繫統的結果基本相同,且兩者位移均方根相差為2.76 μm～3.56 μm,相對誤差為4.59％～7.60％.因此,噹被測量物體的離麵位移大于4 μm時,雙目視覺Q400測量繫統精度可達到電子散斑榦涉測量繫統的精度.
채용리면위이측량정도체도10 nm～20 nm적전자산반간섭측량계통험증료쌍목시각수자산반상관측량계통적리면위이측량정도.분별용전자산반간섭측량계통화쌍목시각수자산반상관측량계통동시측량료평판리면위이,병대소측량적위이최대치진행료분석처리급비교.결과표명,쌍목시각수자산반상관측량계통적물체리면위이분포운도여전자산반간섭측량계통적결과기본상동,차량자위이균방근상차위2.76 μm～3.56 μm,상대오차위4.59％～7.60％.인차,당피측량물체적리면위이대우4 μm시,쌍목시각Q400측량계통정도가체도전자산반간섭측량계통적정도.
