西北师范大学学报（自然科学版）
西北師範大學學報（自然科學版）
서북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2013年
3期
34-39
,共6页
马书懿%刘静%赵强%张小雷%李发明
馬書懿%劉靜%趙彊%張小雷%李髮明
마서의%류정%조강%장소뢰%리발명
Ti掺杂ZnO薄膜%射频反应磁控溅射%X射线衍射%光致发光
Ti摻雜ZnO薄膜%射頻反應磁控濺射%X射線衍射%光緻髮光
Ti참잡ZnO박막%사빈반응자공천사%X사선연사%광치발광
采用射频(RF)反应磁控溅射技术在Si衬底上分别制备了具有(100)方向生长的ZnO薄膜和Ti掺杂ZnO薄膜(ZnO∶Ti).利用X射线衍射(XRD)和光致荧光发光(PL)表征技术,研究了不同Ti掺杂浓度对ZnO薄膜微观结构和光学性能的影响.结果显示,Ti掺杂前后ZnO薄膜都具有六角纤锌矿结构,同时均表现出沿(100)方向的择优生长特性；掺入2％ Ti元素后薄膜的织构系数T(100)明显增加,表明Ti的掺入对ZnO薄膜的结晶取向程度有一定影响.与未掺杂的ZnO薄膜相比,ZnO∶ Ti薄膜的衍射峰发生宽化且峰强减小,薄膜的结晶质量下降.改变Ti的掺杂量,发现Si衬底上制备的薄膜发光强度和发光峰位随掺杂浓度发生相应的改变.
採用射頻(RF)反應磁控濺射技術在Si襯底上分彆製備瞭具有(100)方嚮生長的ZnO薄膜和Ti摻雜ZnO薄膜(ZnO∶Ti).利用X射線衍射(XRD)和光緻熒光髮光(PL)錶徵技術,研究瞭不同Ti摻雜濃度對ZnO薄膜微觀結構和光學性能的影響.結果顯示,Ti摻雜前後ZnO薄膜都具有六角纖鋅礦結構,同時均錶現齣沿(100)方嚮的擇優生長特性；摻入2％ Ti元素後薄膜的織構繫數T(100)明顯增加,錶明Ti的摻入對ZnO薄膜的結晶取嚮程度有一定影響.與未摻雜的ZnO薄膜相比,ZnO∶ Ti薄膜的衍射峰髮生寬化且峰彊減小,薄膜的結晶質量下降.改變Ti的摻雜量,髮現Si襯底上製備的薄膜髮光彊度和髮光峰位隨摻雜濃度髮生相應的改變.
채용사빈(RF)반응자공천사기술재Si츤저상분별제비료구유(100)방향생장적ZnO박막화Ti참잡ZnO박막(ZnO∶Ti).이용X사선연사(XRD)화광치형광발광(PL)표정기술,연구료불동Ti참잡농도대ZnO박막미관결구화광학성능적영향.결과현시,Ti참잡전후ZnO박막도구유륙각섬자광결구,동시균표현출연(100)방향적택우생장특성；참입2％ Ti원소후박막적직구계수T(100)명현증가,표명Ti적참입대ZnO박막적결정취향정도유일정영향.여미참잡적ZnO박막상비,ZnO∶ Ti박막적연사봉발생관화차봉강감소,박막적결정질량하강.개변Ti적참잡량,발현Si츤저상제비적박막발광강도화발광봉위수참잡농도발생상응적개변.
