振动与冲击
振動與遲擊
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JOURNAL OF VIBRATION AND SHOCK
2013年
10期
146-148,156
,共4页
薄膜体声波谐振器%初应力%谐振频率%带宽%有效机电耦合系数
薄膜體聲波諧振器%初應力%諧振頻率%帶寬%有效機電耦閤繫數
박막체성파해진기%초응력%해진빈솔%대관%유효궤전우합계수
研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条件,求出问题的解.得到串联和并联谐振频率,并给出具体的数值算例,讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响.所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义.
研究瞭初應力對壓電薄膜體聲波諧振器(FBAR)厚度拉伸模態諧振特性的影響.利用含初應力壓電材料的壓電彈性基本方程,推導齣理想FBAR在正絃激勵電壓作用下的振動方程.然後根據邊界條件,求齣問題的解.得到串聯和併聯諧振頻率,併給齣具體的數值算例,討論瞭初應力對諧振頻率、帶寬和有效機電耦閤繫數的影響.所得結果對于提高和改善FBAR的性能有參攷意義.
연구료초응력대압전박막체성파해진기(FBAR)후도랍신모태해진특성적영향.이용함초응력압전재료적압전탄성기본방정,추도출이상FBAR재정현격려전압작용하적진동방정.연후근거변계조건,구출문제적해.득도천련화병련해진빈솔,병급출구체적수치산례,토론료초응력대해진빈솔、대관화유효궤전우합계수적영향.소득결과대우제고화개선FBAR적성능유삼고의의.
