光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2012年
11期
130-133
,共4页
于清华%王敬%龚学艺%陈凡胜%陈博洋
于清華%王敬%龔學藝%陳凡勝%陳博洋
우청화%왕경%공학예%진범성%진박양
补偿检验%鬼像%高次非球面
補償檢驗%鬼像%高次非毬麵
보상검험%귀상%고차비구면
针对定性分析方法无法彻底避免鬼像影响检测的现象,在理论分析的基础之上,提出补偿器鬼像定量仿真分析方法.借助光学分析软件,在设计阶段彻底避免鬼像影响检测,并结合实例,说明定性分析方法的局限性,验证定量仿真分析方法的有效性.该分析方法为补偿器的设计分析提供定量分析方法,提高了补偿器研制的成品率,提高了补偿检验精度,对高精度补偿检验技术具有重要意义.
針對定性分析方法無法徹底避免鬼像影響檢測的現象,在理論分析的基礎之上,提齣補償器鬼像定量倣真分析方法.藉助光學分析軟件,在設計階段徹底避免鬼像影響檢測,併結閤實例,說明定性分析方法的跼限性,驗證定量倣真分析方法的有效性.該分析方法為補償器的設計分析提供定量分析方法,提高瞭補償器研製的成品率,提高瞭補償檢驗精度,對高精度補償檢驗技術具有重要意義.
침대정성분석방법무법철저피면귀상영향검측적현상,재이론분석적기출지상,제출보상기귀상정량방진분석방법.차조광학분석연건,재설계계단철저피면귀상영향검측,병결합실례,설명정성분석방법적국한성,험증정량방진분석방법적유효성.해분석방법위보상기적설계분석제공정량분석방법,제고료보상기연제적성품솔,제고료보상검험정도,대고정도보상검험기술구유중요의의.
