空间电子技术
空間電子技術
공간전자기술
SPACE ELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
3期
55-57,70
,共4页
叶鸣%贺永宁%孙勤奋%黄光孙%崔万照
葉鳴%賀永寧%孫勤奮%黃光孫%崔萬照
협명%하영저%손근강%황광손%최만조
无源互调%MSM结构模型%热电子发射%非线性
無源互調%MSM結構模型%熱電子髮射%非線性
무원호조%MSM결구모형%열전자발사%비선성
文章通过建立微波波导连接结的金属-半导体-金属(MSM)结构模型来探讨其无源互调(PIM)产生机理.首先,依据实际镀银波导钝化工艺过程建立了波导连接结的MSM结构模型及其等效电路,然后分析了MSM结构的非线性热电子发射电流特性,最后对MSM结构的三阶PIM进行了理论计算.研究结果表明:PIM随着波导连接压力的增加而呈现出较为复杂的变化规律,并且在106Pa附近存在极小值;PIM随输入功率的增加而增加,尤其是在大的接触压力条件下,增幅更明显;钝化层掺杂浓度的增加总体上使PIM减小,但在1016 cm-3～1018cm-3的掺杂范围内存在极小值点.文章理论结果对探讨PIM产生机理及工程实践具有借鉴意义.
文章通過建立微波波導連接結的金屬-半導體-金屬(MSM)結構模型來探討其無源互調(PIM)產生機理.首先,依據實際鍍銀波導鈍化工藝過程建立瞭波導連接結的MSM結構模型及其等效電路,然後分析瞭MSM結構的非線性熱電子髮射電流特性,最後對MSM結構的三階PIM進行瞭理論計算.研究結果錶明:PIM隨著波導連接壓力的增加而呈現齣較為複雜的變化規律,併且在106Pa附近存在極小值;PIM隨輸入功率的增加而增加,尤其是在大的接觸壓力條件下,增幅更明顯;鈍化層摻雜濃度的增加總體上使PIM減小,但在1016 cm-3～1018cm-3的摻雜範圍內存在極小值點.文章理論結果對探討PIM產生機理及工程實踐具有藉鑒意義.
문장통과건립미파파도련접결적금속-반도체-금속(MSM)결구모형래탐토기무원호조(PIM)산생궤리.수선,의거실제도은파도둔화공예과정건립료파도련접결적MSM결구모형급기등효전로,연후분석료MSM결구적비선성열전자발사전류특성,최후대MSM결구적삼계PIM진행료이론계산.연구결과표명:PIM수착파도련접압력적증가이정현출교위복잡적변화규률,병차재106Pa부근존재겁소치;PIM수수입공솔적증가이증가,우기시재대적접촉압력조건하,증폭경명현;둔화층참잡농도적증가총체상사PIM감소,단재1016 cm-3～1018cm-3적참잡범위내존재겁소치점.문장이론결과대탐토PIM산생궤리급공정실천구유차감의의.
