海峡科学
海峽科學
해협과학
CHANNEL SCIENCE
2012年
7期
13-15
,共3页
退火温度%ZnO薄膜%光学透过率
退火溫度%ZnO薄膜%光學透過率
퇴화온도%ZnO박막%광학투과솔
采用溶胶-凝胶法在ITO导电玻璃衬底上制备氧化锌(ZnO)薄膜,研究其结构、光学透过率和电学性能.AFM测试结果表明,ZnO薄膜晶粒尺寸随退火温度的提高而增大.薄膜的光学透过率曲线显示,在大于400nm的波段,ZnO的透过率比较高,而其禁带宽度约为3.25eV.在相同的电压下,ZnO薄膜产生的电流大小随着退火温度的提高,先增强后减弱,在550℃时达到最大.
採用溶膠-凝膠法在ITO導電玻璃襯底上製備氧化鋅(ZnO)薄膜,研究其結構、光學透過率和電學性能.AFM測試結果錶明,ZnO薄膜晶粒呎吋隨退火溫度的提高而增大.薄膜的光學透過率麯線顯示,在大于400nm的波段,ZnO的透過率比較高,而其禁帶寬度約為3.25eV.在相同的電壓下,ZnO薄膜產生的電流大小隨著退火溫度的提高,先增彊後減弱,在550℃時達到最大.
채용용효-응효법재ITO도전파리츤저상제비양화자(ZnO)박막,연구기결구、광학투과솔화전학성능.AFM측시결과표명,ZnO박막정립척촌수퇴화온도적제고이증대.박막적광학투과솔곡선현시,재대우400nm적파단,ZnO적투과솔비교고,이기금대관도약위3.25eV.재상동적전압하,ZnO박막산생적전류대소수착퇴화온도적제고,선증강후감약,재550℃시체도최대.
