山东理工大学学报（自然科学版）
山東理工大學學報（自然科學版）
산동리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(SCIENCE AND TECHNOLOGY)
2012年
6期
4-7
,共4页
掺钛氧化锌薄膜%红外光谱%晶体结构%磁控溅射
摻鈦氧化鋅薄膜%紅外光譜%晶體結構%磁控濺射
참태양화자박막%홍외광보%정체결구%자공천사
利用直流磁控溅射工艺,在室温水冷玻璃衬底和PET衬底上成功制备出了不同掺杂比的掺钛氧化锌(TZO,ZnO:Ti)薄膜.通过X射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构,用四探针对薄膜的方阻进行了测量,用紫外一可见分光光度计和红外傅里叶变换光谱仪等仪器对薄膜的光学性能进行测试分析,研究了掺杂比对TZO薄膜结构和光学性能的影响,实验结果显示,所制备不同掺杂比的TZO薄膜均为具有C轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜,掺杂比对TZO薄膜的光学性能有显著的影响,制备的TZO薄膜的平均折射率在2.01左右.
利用直流磁控濺射工藝,在室溫水冷玻璃襯底和PET襯底上成功製備齣瞭不同摻雜比的摻鈦氧化鋅(TZO,ZnO:Ti)薄膜.通過X射線衍射譜(XRD)研究瞭薄膜的結構,用四探針對薄膜的方阻進行瞭測量,用紫外一可見分光光度計和紅外傅裏葉變換光譜儀等儀器對薄膜的光學性能進行測試分析,研究瞭摻雜比對TZO薄膜結構和光學性能的影響,實驗結果顯示,所製備不同摻雜比的TZO薄膜均為具有C軸擇優取嚮的六角纖鋅礦結構的多晶薄膜,摻雜比對TZO薄膜的光學性能有顯著的影響,製備的TZO薄膜的平均摺射率在2.01左右.
이용직류자공천사공예,재실온수랭파리츤저화PET츤저상성공제비출료불동참잡비적참태양화자(TZO,ZnO:Ti)박막.통과X사선연사보(XRD)연구료박막적결구,용사탐침대박막적방조진행료측량,용자외일가견분광광도계화홍외부리협변환광보의등의기대박막적광학성능진행측시분석,연구료참잡비대TZO박막결구화광학성능적영향,실험결과현시,소제비불동참잡비적TZO박막균위구유C축택우취향적륙각섬자광결구적다정박막,참잡비대TZO박막적광학성능유현저적영향,제비적TZO박막적평균절사솔재2.01좌우.
