CAJ | 학술논문

采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同硼含量的掺杂四面体非晶碳薄膜(ta-C:B).使用椭偏仪和紫外-可见光分度计测试了薄膜的折射率、消光系数、透过率和反射率.结果表明,硼含量小于2.13％时,硼含量增加,薄膜折射率缓慢增大；消光系数基本保持不变.当硼含量继续增加到3.51％和6.04％时,折射率分别迅速增加至2.65和2.71,相应的消光系数增大至0.092和0.154;而薄膜的光学带隙从2.29eV缓慢减小至1.97eV,后又迅速降至1.27eV.同时ta-C:B膜的透过率逐渐减小,反射率逐渐增大,表明硼的掺入降低了薄膜的透光性能.ta-C:B膜光学性能的变化,除了与sp3杂化碳的含量有关外,还取决于薄膜中sp2杂化碳的空间分布特点.
채용과려음겁진공전호기술제비료불동붕함량적참잡사면체비정탄박막(ta-C:B).사용타편의화자외-가견광분도계측시료박막적절사솔、소광계수、투과솔화반사솔.결과표명,붕함량소우2.13％시,붕함량증가,박막절사솔완만증대；소광계수기본보지불변.당붕함량계속증가도3.51％화6.04％시,절사솔분별신속증가지2.65화2.71,상응적소광계수증대지0.092화0.154;이박막적광학대극종2.29eV완만감소지1.97eV,후우신속강지1.27eV.동시ta-C:B막적투과솔축점감소,반사솔축점증대,표명붕적참입강저료박막적투광성능.ta-C:B막광학성능적변화,제료여sp3잡화탄적함량유관외,환취결우박막중sp2잡화탄적공간분포특점.