中国光学
中國光學
중국광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS
2013年
2期
259-266
,共8页
王二伟%鱼卫星%王成%卢振武
王二偉%魚衛星%王成%盧振武
왕이위%어위성%왕성%로진무
表面等离子体共振(SPR)传感器%角度传感器%纳米间距%共振角度%位相差
錶麵等離子體共振(SPR)傳感器%角度傳感器%納米間距%共振角度%位相差
표면등리자체공진(SPR)전감기%각도전감기%납미간거%공진각도%위상차
结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法.在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测.模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5～0.5 μm变化时,位相改变量可实现-150°～150°的变化,检测灵敏度＞1 nm.该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点.
結閤物理光學原理和錶麵等離子體共振(SPR)角度傳感器,提齣瞭可以突破衍射極限的納米間距檢測方法.在理論上建立起納米間距和位相改變量之間的函數關繫,藉助于SPR角度傳感器的高靈敏性,提齣通過檢測齣射光束振動方嚮的p分量和s分量的位相差值來實現納米間距的實時檢測.模擬結果顯示:納米間距改變量從-0.5～0.5 μm變化時,位相改變量可實現-150°～150°的變化,檢測靈敏度＞1 nm.該檢測方法能夠實現10 nm以下間距的靈敏檢測,且具有結構簡單,易于操作,實時檢測的特點.
결합물리광학원리화표면등리자체공진(SPR)각도전감기,제출료가이돌파연사겁한적납미간거검측방법.재이론상건립기납미간거화위상개변량지간적함수관계,차조우SPR각도전감기적고령민성,제출통과검측출사광속진동방향적p분량화s분량적위상차치래실현납미간거적실시검측.모의결과현시:납미간거개변량종-0.5～0.5 μm변화시,위상개변량가실현-150°～150°적변화,검측령민도＞1 nm.해검측방법능구실현10 nm이하간거적령민검측,차구유결구간단,역우조작,실시검측적특점.
