中国陶瓷工业
中國陶瓷工業
중국도자공업
CHINA CERAMIC INDUSTRY
2013年
2期
8-10
,共3页
氧化锌铝%靶材%AZO%透明导电薄膜%致密化
氧化鋅鋁%靶材%AZO%透明導電薄膜%緻密化
양화자려%파재%AZO%투명도전박막%치밀화
以ZnO和Al2O3为原料,采用冷压成型-高温烧结致密的方法制备超高致密度的AZO靶材.通过实验优化得到的最佳制备AZO靶材的工艺参数是:WAl2O3为2％、锻压压力11MPa、高温烧结温度1200℃,烧结时间5小时,按此条件,制备的AZO靶材相对密度最大(96.63％).其次是:WAl2O3为4％、锻压压力13MPa、高温烧结温度1300℃、烧结时间2小时,得到的AZO靶材相对密度96.04％.
以ZnO和Al2O3為原料,採用冷壓成型-高溫燒結緻密的方法製備超高緻密度的AZO靶材.通過實驗優化得到的最佳製備AZO靶材的工藝參數是:WAl2O3為2％、鍛壓壓力11MPa、高溫燒結溫度1200℃,燒結時間5小時,按此條件,製備的AZO靶材相對密度最大(96.63％).其次是:WAl2O3為4％、鍛壓壓力13MPa、高溫燒結溫度1300℃、燒結時間2小時,得到的AZO靶材相對密度96.04％.
이ZnO화Al2O3위원료,채용냉압성형-고온소결치밀적방법제비초고치밀도적AZO파재.통과실험우화득도적최가제비AZO파재적공예삼수시:WAl2O3위2％、단압압력11MPa、고온소결온도1200℃,소결시간5소시,안차조건,제비적AZO파재상대밀도최대(96.63％).기차시:WAl2O3위4％、단압압력13MPa、고온소결온도1300℃、소결시간2소시,득도적AZO파재상대밀도96.04％.
