中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2013年
5期
77-80
,共4页
RBSOA测试%闩锁电流密度%元胞结构的一致性
RBSOA測試%閂鎖電流密度%元胞結構的一緻性
RBSOA측시%산쇄전류밀도%원포결구적일치성
一种绝缘栅双极晶体管模块在做反向偏置安全工作区测试时,器件在较低的关断电流下就发生了损坏.失效分析显示失效区的位置靠近栅极条区.模拟显示失效区处元胞结构并非对称,而正常元胞结构是对称的,由此造成了该处元胞的闩锁电流密度比对称结构元胞的闩锁电流密度低.因此,元胞结构的一致性不好是RBSOA关断电流低的原因.通过修改版图设计,使工作区元胞结构一致.对改版后的芯片封装后进行RBSOA测试,结果显示安全关断电流有明显提高.
一種絕緣柵雙極晶體管模塊在做反嚮偏置安全工作區測試時,器件在較低的關斷電流下就髮生瞭損壞.失效分析顯示失效區的位置靠近柵極條區.模擬顯示失效區處元胞結構併非對稱,而正常元胞結構是對稱的,由此造成瞭該處元胞的閂鎖電流密度比對稱結構元胞的閂鎖電流密度低.因此,元胞結構的一緻性不好是RBSOA關斷電流低的原因.通過脩改版圖設計,使工作區元胞結構一緻.對改版後的芯片封裝後進行RBSOA測試,結果顯示安全關斷電流有明顯提高.
일충절연책쌍겁정체관모괴재주반향편치안전공작구측시시,기건재교저적관단전류하취발생료손배.실효분석현시실효구적위치고근책겁조구.모의현시실효구처원포결구병비대칭,이정상원포결구시대칭적,유차조성료해처원포적산쇄전류밀도비대칭결구원포적산쇄전류밀도저.인차,원포결구적일치성불호시RBSOA관단전류저적원인.통과수개판도설계,사공작구원포결구일치.대개판후적심편봉장후진행RBSOA측시,결과현시안전관단전류유명현제고.
