河南科技
河南科技
하남과기
HENANKEJI
2013年
5期
45,72
,共2页
微波等离子体炬%金刚石薄膜%距离
微波等離子體炬%金剛石薄膜%距離
미파등리자체거%금강석박막%거리
本文采用微波等离子体炬法制备了金刚石薄膜.并在一定的微波功率下,研究了Si基片到火炬啧嘴距离(L)对金刚石膜质量的影响,结果表明:距离L为6mm时沉积的金刚石薄膜的结晶性好、金刚石相纯度高.
本文採用微波等離子體炬法製備瞭金剛石薄膜.併在一定的微波功率下,研究瞭Si基片到火炬嘖嘴距離(L)對金剛石膜質量的影響,結果錶明:距離L為6mm時沉積的金剛石薄膜的結晶性好、金剛石相純度高.
본문채용미파등리자체거법제비료금강석박막.병재일정적미파공솔하,연구료Si기편도화거책취거리(L)대금강석막질량적영향,결과표명:거리L위6mm시침적적금강석박막적결정성호、금강석상순도고.
