电镀与环保
電鍍與環保
전도여배보
ELECTROPLATING & POLLUTION CONTROL
2013年
2期
4-6
,共3页
微机电系统%微细电铸%微结构%高深宽比
微機電繫統%微細電鑄%微結構%高深寬比
미궤전계통%미세전주%미결구%고심관비
鉴于微机电系统(MEMS)承载的特殊功能,其制造技术成为当前研究的热点.微细电铸以其固有的诸多技术优势,成为制造复杂结构MEMS零部件的主流技术.概述了超声微细电铸技术、超临界微细电铸技术、屏蔽模板随动式微细电铸技术、辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术和高压微细电铸技术五项面向微机电系统的新型微细电铸制造工艺及其研究进展,并指出了今后的研究重点.
鑒于微機電繫統(MEMS)承載的特殊功能,其製造技術成為噹前研究的熱點.微細電鑄以其固有的諸多技術優勢,成為製造複雜結構MEMS零部件的主流技術.概述瞭超聲微細電鑄技術、超臨界微細電鑄技術、屏蔽模闆隨動式微細電鑄技術、輔助交變低氣壓-溫度梯度微細電鑄技術和高壓微細電鑄技術五項麵嚮微機電繫統的新型微細電鑄製造工藝及其研究進展,併指齣瞭今後的研究重點.
감우미궤전계통(MEMS)승재적특수공능,기제조기술성위당전연구적열점.미세전주이기고유적제다기술우세,성위제조복잡결구MEMS령부건적주류기술.개술료초성미세전주기술、초림계미세전주기술、병폐모판수동식미세전주기술、보조교변저기압-온도제도미세전주기술화고압미세전주기술오항면향미궤전계통적신형미세전주제조공예급기연구진전,병지출료금후적연구중점.
