光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
3期
717-723
,共7页
宏/微驱动%并联机构%工作空间%扫描电子显微镜
宏/微驅動%併聯機構%工作空間%掃描電子顯微鏡
굉/미구동%병련궤구%공작공간%소묘전자현미경
以一种应用于扫描电镜的4-HSPS/PRPUR并联宏/微驱动操作手为研究对象,对该并联机构的工作空间进行了分析.4-HSPS/PRPUR并联宏/微驱动操作手的动平台与基座之间通过4个HSPS分支和1个PRPUR分支相连,机构动平台具有3个方向的移动自由度和绕X轴和Y轴的2个转动自由度.该并联机构同时包含了宏动输入部分和微动输入部分,本文分别对该机构在宏动输入和微动输入下的定姿态工作空间和灵活姿态角工作空间进行了分析.分析表明该机构具有较大的运动能力,同时还发现中间分支的连杆尺寸对运动空间形状有较大影响.综合该机构的定姿态工作空间和灵活姿态角工作空间可知,该并联宏/微驱动机器人能够应用于平台安装空间较小,工作空间需要较大并且定位精度高的场合.得到的结果对4-HSPS/PRPUR机构的应用有重要的理论指导意义.
以一種應用于掃描電鏡的4-HSPS/PRPUR併聯宏/微驅動操作手為研究對象,對該併聯機構的工作空間進行瞭分析.4-HSPS/PRPUR併聯宏/微驅動操作手的動平檯與基座之間通過4箇HSPS分支和1箇PRPUR分支相連,機構動平檯具有3箇方嚮的移動自由度和繞X軸和Y軸的2箇轉動自由度.該併聯機構同時包含瞭宏動輸入部分和微動輸入部分,本文分彆對該機構在宏動輸入和微動輸入下的定姿態工作空間和靈活姿態角工作空間進行瞭分析.分析錶明該機構具有較大的運動能力,同時還髮現中間分支的連桿呎吋對運動空間形狀有較大影響.綜閤該機構的定姿態工作空間和靈活姿態角工作空間可知,該併聯宏/微驅動機器人能夠應用于平檯安裝空間較小,工作空間需要較大併且定位精度高的場閤.得到的結果對4-HSPS/PRPUR機構的應用有重要的理論指導意義.
이일충응용우소묘전경적4-HSPS/PRPUR병련굉/미구동조작수위연구대상,대해병련궤구적공작공간진행료분석.4-HSPS/PRPUR병련굉/미구동조작수적동평태여기좌지간통과4개HSPS분지화1개PRPUR분지상련,궤구동평태구유3개방향적이동자유도화요X축화Y축적2개전동자유도.해병련궤구동시포함료굉동수입부분화미동수입부분,본문분별대해궤구재굉동수입화미동수입하적정자태공작공간화령활자태각공작공간진행료분석.분석표명해궤구구유교대적운동능력,동시환발현중간분지적련간척촌대운동공간형상유교대영향.종합해궤구적정자태공작공간화령활자태각공작공간가지,해병련굉/미구동궤기인능구응용우평태안장공간교소,공작공간수요교대병차정위정도고적장합.득도적결과대4-HSPS/PRPUR궤구적응용유중요적이론지도의의.
