光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
3期
664-671
,共8页
黄强先%余夫领%宫二敏%王晨晨%费业泰
黃彊先%餘伕領%宮二敏%王晨晨%費業泰
황강선%여부령%궁이민%왕신신%비업태
三维纳米工作台%纳米三坐标测量机%阿贝误差%误差修正
三維納米工作檯%納米三坐標測量機%阿貝誤差%誤差脩正
삼유납미공작태%납미삼좌표측량궤%아패오차%오차수정
为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台.该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,x向和y向测量系统的测量线与xy导轨面共面.针对本工作台的特点,在参考常规三坐标测量机误差分析的基础上,详细分析了该工作台中各项误差的影响,给出了影响测量机不确定度的主要误差源,并对这些误差提出了修正方法.在研制的工作台上对一等量块进行了实验测试.结果显示,一等量块工作面的平面度测量标准差为11 nm,台阶高度标准差为21 nm,其中台阶高度测量平均值与检定值相差1 nm.理论分析和实验结果表明,所研制的工作台从结构上避免了CMM中多项误差源的影响,尤其是避免了阿贝误差的影响,可用于高精度的三维测量.
為避免常規三坐標測量機(CMM)中的阿貝誤差,同時降低導軌運動誤差對測量機測量不確定度的影響,研製瞭一種在三維測量方嚮上同時符閤阿貝原則的納米CMM工作檯.該工作檯做三維運動,x導軌和y導軌採用共平麵結構;工作檯三維測量繫統的測量線正交于一點且正交點與測頭中心點重閤,x嚮和y嚮測量繫統的測量線與xy導軌麵共麵.針對本工作檯的特點,在參攷常規三坐標測量機誤差分析的基礎上,詳細分析瞭該工作檯中各項誤差的影響,給齣瞭影響測量機不確定度的主要誤差源,併對這些誤差提齣瞭脩正方法.在研製的工作檯上對一等量塊進行瞭實驗測試.結果顯示,一等量塊工作麵的平麵度測量標準差為11 nm,檯階高度標準差為21 nm,其中檯階高度測量平均值與檢定值相差1 nm.理論分析和實驗結果錶明,所研製的工作檯從結構上避免瞭CMM中多項誤差源的影響,尤其是避免瞭阿貝誤差的影響,可用于高精度的三維測量.
위피면상규삼좌표측량궤(CMM)중적아패오차,동시강저도궤운동오차대측량궤측량불학정도적영향,연제료일충재삼유측량방향상동시부합아패원칙적납미CMM공작태.해공작태주삼유운동,x도궤화y도궤채용공평면결구;공작태삼유측량계통적측량선정교우일점차정교점여측두중심점중합,x향화y향측량계통적측량선여xy도궤면공면.침대본공작태적특점,재삼고상규삼좌표측량궤오차분석적기출상,상세분석료해공작태중각항오차적영향,급출료영향측량궤불학정도적주요오차원,병대저사오차제출료수정방법.재연제적공작태상대일등량괴진행료실험측시.결과현시,일등량괴공작면적평면도측량표준차위11 nm,태계고도표준차위21 nm,기중태계고도측량평균치여검정치상차1 nm.이론분석화실험결과표명,소연제적공작태종결구상피면료CMM중다항오차원적영향,우기시피면료아패오차적영향,가용우고정도적삼유측량.
