CAJ | 학술논문

基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验.本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验.将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分.与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1 nm rms.在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量.采用改变伪剪切比和更换标准镜两种方案,分别实现了实验数据的自比对;将测试结果与经典三面互检法得到的水平和垂直方向的一维轮廓数据进行比对,验证了旋转平移法的准确性.
기우Zernike다항식의합적전통간섭절대검험방법유우평활료파면화주실료중빈성분,부가이실현면형오차적절대검험.본문제출이용선전평이법래실현중빈파면적간섭절대검험.장피측파면분해성선전대칭성분화선전비대칭성분,통과N차선전피측건,구해파면중적선전비대칭성분;통과평이피측건실현위전절,구해파면중적선전대칭성분.여전통절대검험방법상비,해방법기능구회복정개파면,우불수요대정개파면진행Zernike다항식의합;유우부대선전대칭성분용우차다항식진행제취,제승료계산속도,강저료의합오차,보류료중빈성분,수치방진현시기비전통방법우월,측량정도가체도1 nm rms.재ZYGO간섭의상완성료평면원건적간섭절대검험측량.채용개변위전절비화경환표준경량충방안,분별실현료실험수거적자비대;장측시결과여경전삼면호검법득도적수평화수직방향적일유륜곽수거진행비대,험증료선전평이법적준학성.