光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
3期
554-560
,共7页
白满社%李攀%张晋宽%滕霖
白滿社%李攀%張晉寬%滕霖
백만사%리반%장진관%등림
球面反射镜%曲率半径%球面误差%功率谱密度%运动分析
毬麵反射鏡%麯率半徑%毬麵誤差%功率譜密度%運動分析
구면반사경%곡솔반경%구면오차%공솔보밀도%운동분석
结合环形抛光工艺,提出了新的球面抛光方法,以满足环形激光器、同步辐射加速器、光学振荡器等对大曲率半径球面反射镜球面误差的特殊要求.基于Preston抛光方程,分析了传统工艺在抛光过程中球面区域沿径向不同点的相对运动轨迹,建立了抛光过程材料去除模型.运用所建立的数学模型对大曲率半径球面反射镜传统抛光过程进行计算机仿真,揭示了传统抛光方法产生球面误差的两个原因,即工件无法始终处于抛光盘工作区域内以及工件自转与抛光盘转速不一致.由此提出增大抛光盘面积和驱动工件同步转动两条措施来降低球面误差.应用提出的新工艺加工了半径为6 000 mm的大曲率半径球面反射镜,测试显示其球面误差△R/R＜0.02,粗糙度小于0.25 nm,表面疵病达到0级,满足设计要求.
結閤環形拋光工藝,提齣瞭新的毬麵拋光方法,以滿足環形激光器、同步輻射加速器、光學振盪器等對大麯率半徑毬麵反射鏡毬麵誤差的特殊要求.基于Preston拋光方程,分析瞭傳統工藝在拋光過程中毬麵區域沿徑嚮不同點的相對運動軌跡,建立瞭拋光過程材料去除模型.運用所建立的數學模型對大麯率半徑毬麵反射鏡傳統拋光過程進行計算機倣真,揭示瞭傳統拋光方法產生毬麵誤差的兩箇原因,即工件無法始終處于拋光盤工作區域內以及工件自轉與拋光盤轉速不一緻.由此提齣增大拋光盤麵積和驅動工件同步轉動兩條措施來降低毬麵誤差.應用提齣的新工藝加工瞭半徑為6 000 mm的大麯率半徑毬麵反射鏡,測試顯示其毬麵誤差△R/R＜0.02,粗糙度小于0.25 nm,錶麵疵病達到0級,滿足設計要求.
결합배형포광공예,제출료신적구면포광방법,이만족배형격광기、동보복사가속기、광학진탕기등대대곡솔반경구면반사경구면오차적특수요구.기우Preston포광방정,분석료전통공예재포광과정중구면구역연경향불동점적상대운동궤적,건립료포광과정재료거제모형.운용소건립적수학모형대대곡솔반경구면반사경전통포광과정진행계산궤방진,게시료전통포광방법산생구면오차적량개원인,즉공건무법시종처우포광반공작구역내이급공건자전여포광반전속불일치.유차제출증대포광반면적화구동공건동보전동량조조시래강저구면오차.응용제출적신공예가공료반경위6 000 mm적대곡솔반경구면반사경,측시현시기구면오차△R/R＜0.02,조조도소우0.25 nm,표면자병체도0급,만족설계요구.
