光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
3期
546-553
,共8页
吴耀军%王群书%叶锡生%唐传祥%林新伟%吴丽雄
吳耀軍%王群書%葉錫生%唐傳祥%林新偉%吳麗雄
오요군%왕군서%협석생%당전상%림신위%오려웅
粗糙表面%高度分布%激光散射%散射系数
粗糙錶麵%高度分佈%激光散射%散射繫數
조조표면%고도분포%격광산사%산사계수
研究了机械加工时由周期分量和随机分量叠加形成的粗糙表面的激光散射特性.基于Helmholtz-Kirchhoff积分定理并结合统计学相关理论,推导得到了上述粗糙表面的散射场强空间分布理论计算公式.根据推导得到的计算公式,计算了不同周期振幅和不同随机粗糙度情况下的散射场强空间分布,并分析了散射场空间分布的特征和形成原因.理论计算结果表明:在随机性粗糙度远小于激光波长时,周期振幅越大,散射场空间分布的“衍射条纹”现象越明显;而在随机性粗糙度和激光波长可比拟时,周期振幅在波长范围内的变化对散射场空间分布特征影响较小,不再有“衍射条纹”出现.在这种情况下,周期振幅的变化所产生的效果相当于是对散射场空间分布进行了调制.
研究瞭機械加工時由週期分量和隨機分量疊加形成的粗糙錶麵的激光散射特性.基于Helmholtz-Kirchhoff積分定理併結閤統計學相關理論,推導得到瞭上述粗糙錶麵的散射場彊空間分佈理論計算公式.根據推導得到的計算公式,計算瞭不同週期振幅和不同隨機粗糙度情況下的散射場彊空間分佈,併分析瞭散射場空間分佈的特徵和形成原因.理論計算結果錶明:在隨機性粗糙度遠小于激光波長時,週期振幅越大,散射場空間分佈的“衍射條紋”現象越明顯;而在隨機性粗糙度和激光波長可比擬時,週期振幅在波長範圍內的變化對散射場空間分佈特徵影響較小,不再有“衍射條紋”齣現.在這種情況下,週期振幅的變化所產生的效果相噹于是對散射場空間分佈進行瞭調製.
연구료궤계가공시유주기분량화수궤분량첩가형성적조조표면적격광산사특성.기우Helmholtz-Kirchhoff적분정리병결합통계학상관이론,추도득도료상술조조표면적산사장강공간분포이론계산공식.근거추도득도적계산공식,계산료불동주기진폭화불동수궤조조도정황하적산사장강공간분포,병분석료산사장공간분포적특정화형성원인.이론계산결과표명:재수궤성조조도원소우격광파장시,주기진폭월대,산사장공간분포적“연사조문”현상월명현;이재수궤성조조도화격광파장가비의시,주기진폭재파장범위내적변화대산사장공간분포특정영향교소,불재유“연사조문”출현.재저충정황하,주기진폭적변화소산생적효과상당우시대산사장공간분포진행료조제.
