ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究
ITO박막성능、응용급기자공천사제비기술적연구
Properties, Application and Magnetron Sputtering Depositing Techniques of ITO Thin Film
  • 万方数据
    热加工工艺 열가공공예
    HOT WORKING TECHNOLOGY
    2013年 2期 88-90 ,共3页

    吴晓飞%郗雨林

    오효비%치우림

    ITO%薄膜%磁控溅射 ITO%薄膜%磁控濺射
    ITO%박막%자공천사
    研究了ITO薄膜的性能、应用以及磁控溅射制备技术,并对相关技术的发展趋势进行了探讨.
    연구료ITO박막적성능、응용이급자공천사제비기술,병대상관기술적발전추세진행료탐토.
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